[发明专利]一种基于样品旋转和激光双光束干涉的微纳结构刻写装置有效
| 申请号： | 201610937238.6 | 申请日： | 2016-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN106444297B | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 王向贤;陈宜臻;王茹;朱小帅;张东阳;庞志远;杨华 | 申请（专利权）人： | 兰州理工大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 兰州智和专利代理事务所(普通合伙) 62201 | 代理人： | 周立新 |
| 地址： | 730050 甘肃*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 样品 旋转 激光 光束 干涉 结构 刻写 装置 | ||
【权利要求书】：
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