[发明专利]探针模块

权利要求书

1.一种探针模块，设置于一检测机与一待测电子对象之间，用以接抵该待测电子对象的一待测面；该探针模块包含：

一基座，供固定于该检测机；

一结合座，结合于该基座，该结合座具有一结合孔及一第一端面，该结合孔贯穿该结合座，该第一端面的一第一延伸参考面垂直于该待测电子对象的该待测面；

一信号接头，设置于该结合座且位于该结合孔中，该信号接头供电性连接至该检测机，该信号接头具有一信号传导部以及一接地传导部；

一电信号传导件，呈杆状，包含有一以导体制成的信号线、一包覆该信号线且以绝缘材料制成的绝缘层、以及一包覆该绝缘层且以导体制成的接地层；该信号线电性连接该信号传导部，该接地层电性连接该接地传导部；以及

至少二探针，以导体制成，且供与该待测物的该待测面接抵；该二探针分别与该电信号传导件一端的该信号线及该接地层电性连接；各该探针至少一部分由该结合座正下方伸出该第一延伸参考面。

2.如权利要求1所述的探针模块，其特征在于，包含一吸波套管，其以吸波材料制成；该电信号传导件包括有相连接且位于该结合座下方的一第一段与一第二段；该吸波套管套设于该第一段上，且该吸波套管一部分裸露于该结合座外；该二探针结合于该第二段的一端。

3.如权利要求2所述的探针模块，其特征在于，该电信号传导件的该第一段的一部分及该第二段由该结合座正下方伸出该第一延伸参考面，使各该探针的整体伸出该第一延伸参考面。

4.如权利要求2所述的探针模块，其特征在于，该第一段及该吸波套管位于该结合座的正投影范围内。

5.如权利要求4所述的探针模块，其特征在于，各该探针仅一部分伸出该第一延伸参考面。

6.如权利要求1所述的探针模块，其特征在于，该结合座具有位于最底部的一第二端面，该第二端面的一第二延伸参考面平行于该待测电子对象的该待测面，该二探针具有一针尖，该针尖的位置低于该第二延伸参考面。

7.如权利要求6所述的探针模块，其特征在于，该基座包括相连接的一第一座体与一第二座体，该第一座体供固定于该检测机，该第二座体与该结合座结合，其中，该第二座体的位置低于该第一座体，且该第二座体的底端与该结合座的该第二端面齐平。

8.如权利要求6所述的探针模块，其特征在于，该基座包括相连接的一座体与二延伸臂，该二延伸臂彼此相隔一距离，各该延伸臂一端结合于该座体，另一端结合于该结合座上；该座体、该二延伸臂及该结合座之间形成一镂空区；该二延伸臂的底端与该结合座的该第二端面齐平。

9.如权利要求1所述的探针模块，其特征在于，包括有一印刷电路板，该印刷电路板上布设有至少二导电线路；该印刷电路板与该电信号传导件位于该结合座的正投影范围内；该些探针分别焊接于该二导电线路，且该二探针分别通过该二导电线路电性连接该电信号传导件的该信号线与该接地层。

10.一种探针模块，设置于一检测机与一待测电子对象之间，用以接抵该待测电子对象的一待测面；该探针模块包含：

一基座，供固定于该检测机；

一结合座，结合于该基座，该结合座具有一结合孔，该结合孔贯穿该结合座；

一信号接头，设置于该结合座且位于该结合孔中，该信号接头供电性连接至该检测机，该信号接头具有一信号传导部以及一接地传导部；

一电信号传导件，呈杆状且位于该结合座的正投影范围内，该电信号传导件包含有一以导体制成的信号线、一包覆该信号线且以绝缘材料制成的绝缘层、以及一包覆该绝缘层且以导体制成的接地层；该信号线电性连接该信号传导部，该接地层电性连接该接地传导部；

至少二探针，以导体制成，且供与该待测物的该待测面接抵；该二探针分别与该电信号传导件一端的该信号线及该接地层电性连接；该二探针位于该结合座下方且位于该结合座的正投影范围内；以及

一反射镜，设置于该结合座的一侧，该反射镜具有一呈倾斜设置的反射面对应该二探针，该反射面将该二探针的影像向上反射。

11.如权利要求10所述的探针模块，其特征在于，包含二连接肋，各该连接肋一端连接结合座，另一端连接该反射镜，该二连接肋之间形成一开口，且该反射面位于该开口下方。

12.如权利要求11所述的探针模块，其特征在于，该反面镜的最底端的位置高于该二探针的针尖。