[发明专利]一种气相法晶体生长用原料的提纯装置及其提纯方法有效
| 申请号： | 201610939929.X | 申请日： | 2016-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN106498491B | 公开（公告）日： | 2018-12-14 |
| 发明（设计）人： | 司华青;霍晓青;郭文斌;张颖武;程红娟;徐永宽;张志鹏;于凯;练小正 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
| 主分类号： | C30B25/00 | 分类号： | C30B25/00;C30B23/00;C30B28/12;C30B35/00 |
| 代理公司： | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人： | 王凤英 |
| 地址： | 300220*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 气相法 晶体生长 原料 提纯 装置 及其 方法 | ||
【说明书】：
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