[发明专利]多密封系统漏率测量方法和装置

权利要求书

1.多密封系统总漏率测试的测量系统，主要包括标准漏率装置、多种示漏气体气源、真空容器、抽气单元、取样单元、四极质谱分析单元和数据处理单元，所述标准漏率装置包括标准漏孔组，多种示漏气体气源通过标准漏孔组与真空容器连通，真空泵对标准漏孔组的前后端进行抽气，气源通过自动调压阀与标准漏孔组连通并将标准漏孔组前的压力稳定在一定数值，标准漏孔组与真空容器之间通过阀门进行连接，所述真空容器连接有抽气单元，抽气单元包括粗抽机组、分子泵高真空系统，粗抽机组与真空容器通过阀门直接连接，分子泵高真空系统与真空容器也通过阀门直接连接，分子泵采用了罗茨泵机组为前级，真空容器通过取样单元和四极质谱分析单元相连通，四极质谱分析单元与数据处理单元电连接，其中，将航天器测试组件放入真空容器内，对容器抽真空得到不同质量数气体的特征峰对应的离子流大小，作为本底值；再向真空容器依次分别引入不同示漏气体的标准漏率，得到不同示漏气体标准漏率对应的离子流大小，关闭标准漏孔；向航天器测试组件不同的被检密封系统内充入不同的示漏气体，系统稳定后，通过质谱分析，得到各个不同密封系统泄漏后反应出来的实际离子流大小；根据标准漏率和对应的离子流的比值，得到不同密封系统的实际漏率值。

2.如权利要求1所述的多密封系统总漏率测试的测量系统，其中，标准漏孔优选为通道型漏孔，所述真空泵为无油涡旋真空泵。

3.如权利要求1所述的多密封系统总漏率测试的测量系统，其中，所述粗抽机组优选为变频罗茨泵螺杆泵无油机组，分子泵高真空系统优选为磁悬浮分子泵配罗茨泵螺杆泵机组。

4.如权利要求1所述的多密封系统总漏率测试的测量系统，其中，所述连接在真空容器上的质谱分析控制台核心为四极质谱计。

5.利用权利要求1-4任一项所述的测量系统测试多个密封系统漏率的测量方法，包括以下步骤：

首先将航天器测试组件放入真空容器内，对容器抽真空，得到不同质量数气体的特征峰对应的离子流大小，作为本底值；然后向真空容器依次分别引入不同示漏气体的标准漏率，通过质谱分析得到不同示漏气体标准漏率对应的离子流大小，关闭标准漏孔；向航天器测试组件不同的被检密封系统内充入不同的示漏气体，系统稳定后，通过质谱分析，得到各个不同密封系统泄漏后反应出来的实际离子流大小；根据标准漏率和对应的离子流的比值，就可以得到不同密封系统的实际漏率值。

6.如权利要求5所述的测量方法，包括以下步骤：

1)将总装后的航天器放入真空容器中，对容器进行粗抽；

2)容器粗抽达到优于5Pa后，启动分子泵对容器进行抽高真空，同时关闭粗抽机组；

3)达到检漏真空度后，质谱分析单元通过取样单元对容器中的气体进行取样，将气体引入到四极质谱分析单元的质谱室；

4)四极质谱分析单元达到稳定后，对不同示漏气体的离子流进行监测并记录本底数据；然后分别向容器通入不同示漏气体的标准漏孔，待系统稳定后，记录下不同示漏气体标准漏孔对应的离子流，关闭标准漏孔；最后向航天器被检密封系统通入示漏气体，记录下相对应的离子流大小；经数据处理单元处理后，得出不同系统的总漏率值。