[发明专利]一种等离子刻蚀机水平度的自动调节装置及方法

权利要求书

1.一种等离子刻蚀机水平度的自动调节装置，其中，所述的等离子刻蚀机包含：

刻蚀机腔体，由位于顶端的顶盖，位于底端的底壁，以及连接在顶盖和底壁之间的侧壁构成；

静电吸盘，设置在刻蚀机腔体内的底壁上方，与刻蚀机腔体之间平行设置，承载及吸持基片；

其特征在于，所述的自动调节装置包含：

倾角传感器，固定安装在等离子刻蚀机的静电吸盘的圆心位置处，或者固定安装在刻蚀机腔体的顶盖的圆心位置处，且与承载基片的静电吸盘平行设置，用于检测等离子刻蚀机的倾斜角度与倾斜方向；

多个调节组件，分别连接设置在等离子刻蚀机的底部下方；

控制器，分别与倾角传感器以及各个调节组件连接，根据接收到的离子刻蚀机的倾斜角度与倾斜方向，控制各个调节组件对应进行升高或降低操作，调节等离子刻蚀机处于水平状态。

2.如权利要求1所述的等离子刻蚀机水平度的自动调节装置，其特征在于，所述的倾角传感器嵌入设置在静电吸盘内，或者通过机械结构固定连接在静电吸盘的底部下方。

3.如权利要求1所述的等离子刻蚀机水平度的自动调节装置，其特征在于，所述的倾角传感器嵌入设置在顶盖内，或者通过机械结构固定连接在顶盖的顶部上方。

4.如权利要求2或3所述的等离子刻蚀机水平度的自动调节装置，其特征在于，每个所述的调节组件包含：

支架；

电机，设置在支架上，与控制器连接；

丝杠，设置在支架内，一端与等离子刻蚀机的底部连接，另一端与电机连接；

其中，所述的电机根据控制器发出的控制信号，驱动丝杠升高或降低，调节等离子刻蚀机的水平度。

5.如权利要求4所述的等离子刻蚀机水平度的自动调节装置，其特征在于，所述的调节组件还包含地脚，设置在支架的底部，稳定支撑整个调节组件。

6.如权利要求4所述的等离子刻蚀机水平度的自动调节装置，其特征在于，至少采用三个调节组件，在一个稳定的平面内支撑并调节等离子刻蚀机的水平度。

7.一种等离子刻蚀机，其特征在于，包含上述权利要求1～6中任一项所述的自动调节装置。

8.一种等离子刻蚀机水平度的自动调节方法，采用上述权利要求1～6中任一项所述的自动调节装置实现，其特征在于，包含以下步骤：

S1、将倾角传感器固定安装在等离子刻蚀机的静电吸盘的圆心位置处，或者固定安装在刻蚀机腔体的顶盖的圆心位置处，且与等离子刻蚀机中承载基片的静电吸盘平行设置；

S2、倾角传感器检测等离子刻蚀机的倾斜角度与倾斜方向，并转换成对应的电信号输出；

S3、控制器接收倾角传感器输出的倾斜角度与倾斜方向的电信号，进行分解分析，并输出控制信号至各个调节组件；

S4、各个调节组件根据接收到的控制信号进行升高或降低操作，调节等离子刻蚀机的水平度。

9.如权利要求8所述的等离子刻蚀机水平度的自动调节方法，其特征在于，所述的S3中，具体为：控制器对接收到的倾斜角度与倾斜方向的电信号进行平面分解，确定所对应的各个调节组件需要上升或降低的高度，向各个调节组件的电机发送控制信号。

10.如权利要求8所述的等离子刻蚀机水平度的自动调节方法，其特征在于，所述的S4中，具体为：各个调节组件的电机根据接收到的控制信号，驱动对应的丝杠进行相应高度的升降，实现等离子刻蚀机水平度的调节。