[发明专利]一种抑制激光光斑杂讯提升稳定性的三维形貌扫描系统有效
| 申请号： | 201610946431.6 | 申请日： | 2016-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN106931899B | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 蔡政廷;翁義龙 | 申请（专利权）人： | 致茂电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾桃园市龟*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 抑制 激光 光斑 杂讯 提升 稳定性 三维 形貌 扫描 系统 | ||
1.一种三维形貌扫描系统，其特征在于，包含：
一线光源，提供一线光束；
一旋转镜，将该线光束反射至一待测面，以于该待测面上形成一照射区域，其中该旋转镜旋转使得该照射区域摆动，且不同时刻的所述照射区域形成一重叠区域，且所述照射区域部分地位于所述重叠区域之外；以及
一影像撷取装置，用以撷取该待测面上的该照射区域的影像。
2.根据权利要求1所述的三维形貌扫描系统，其特征在于，该待测面上的该照射区域具有一延伸方向，该旋转镜旋转使得该照射区域实质沿该延伸方向摆动。
3.根据权利要求1所述的三维形貌扫描系统，其特征在于，该待测面上的该照射区域具有一延伸方向，该照射区域沿着该延伸方向具有一第一长度，该照射区域摆动的摆幅小于该照射区域的该第一长度。
4.根据权利要求1所述的三维形貌扫描系统，其特征在于，该待测面上的该照射区域具有一延伸方向，该照射区域沿着该延伸方向具有一第一长度，且该影像撷取装置于该待测面上具有一取像区域，该取像区域沿着该延伸方向具有一第二长度，该第二长度小于该第一长度。
5.根据权利要求1所述的三维形貌扫描系统，其特征在于，该旋转镜具有一旋转频率，且该影像撷取装置具有一取像频率，该旋转频率等于该取像频率。
6.根据权利要求1所述的三维形貌扫描系统，其特征在于，该旋转镜具有一旋转频率，且该影像撷取装置具有一取像频率，该旋转频率大于该取像频率。
7.根据权利要求1所述的三维形貌扫描系统，其特征在于，该旋转镜包含：
一反射镜，具有一旋转轴，该旋转轴实质位于该反射镜的中心；以及
一旋转机构，连接该反射镜，使得该反射镜沿着该旋转轴转动。
8.根据权利要求1所述的三维形貌扫描系统，其特征在于，该线光源包含：
一点光源，提供一第一光束；以及
一柱状透镜，用以将该第一光束变形为该线光束。
9.根据权利要求1所述的三维形貌扫描系统，其特征在于，该线光束为激光光束。
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