[发明专利]物理量检测振动片、物理量检测装置、电子设备及移动体

说明书

本发明提供一种物理量检测振动片、物理量检测装置、电子设备及移动体。振动片(1)具有：检测臂(221)，其沿着Z轴方向进行驱动振动，且通过被施加角速度而沿着X轴方向进行检测振动；第一电极部(331)、第二电极部(332)、第三电极部(341)、第四电极部(342)以及第一接地电极部(351)、第二接地电极部(352)、第三接地电极部(353)、第四接地电极部(354)，它们被配置在检测臂(221)上。并且，第一电极部(331)与第一接地电极部(351)之间所产生的信号和第二电极部(332)与第二接地电极部(352)之间所产生的信号在驱动振动时为反相，在检测振动时为同相。此外，第三电极部(341)与第三接地电极部(353)之间所产生的信号和第四电极部(342)与第四接地电极部(354)之间所产生的信号在驱动振动时为反相，在检测振动时为同相。

技术领域

本发明涉及一种物理量检测振动片、物理量检测装置、电子设备以及移动体。

背景技术

一直以来，作为角速度检测振动片，而已知有专利文献1所记载的结构。专利文献1所记载的物理量检测振动片具有：基部；从基部起向Y轴方向两侧延伸的一对检测臂；从基部起向X轴方向两侧延伸的一对连结臂；从一个连结臂起向Y轴方向两侧延伸的一对驱动臂；从另一个连结臂起朝向Y轴方向两侧延伸的一对驱动臂。在这种角速度检测振动片中，各个驱动臂进行倾斜振动(包括X轴方向的振动成分和Z轴方向的振动成分在内的振动)，并能够独立地对绕Z轴的角速度和绕Y轴的角速度进行检测。具体而言，在将从一个检测臂的检测电极而获取的检测信号设为“第一检测信号Sa”，将从另一个检测臂的检测电极而获取的检测信号设为“第二检测信号Sb”时，能够通过Sa-Sb而对绕Z轴的角速度进行检测，相反，能够通过Sa+Sb而对绕Y轴的角速度进行检测。

但是，实际上，在第一检测信号Sa中，混入有例如因与驱动电极的电容耦合而引起的噪声Na，同样，在第二检测信号Sb中，也混入有例如因与驱动电极的电容耦合而引起的噪声Nb。因此，如前所述，为了对绕Z轴的角速度进行检测，只要实施Sa-Sb的运算处理，即，从Sa减去Sb的处理，就能够消除噪声Na、Nb，从而减小噪声，但是，相反，为了对绕Y轴的角速度进行检测，如果实施Sa+Sb的运算，则会使噪声Na、Nb相加，而导致噪声增大。如此，在专利文献1的角速度检测振动片中，存在有无法高精度地对绕Z轴的角速度以及绕Y轴的角速度一起进行检测的问题。

专利文献1：日本号特开2013-190304公报

发明内容

本发明的目的在于，提供一种能够发挥优异的物理量检测灵敏度的物理量检测振动片、物理量检测装置、电子设备以及移动体。

本发明是为了解决上述课题中的至少一部分而做成的发明，并能够作为以下的方式或应用例来实现。

本应用例所涉及的物理量检测振动片的特征在于，具有：检测臂，其包括压电体，并沿着第一方向进行驱动振动，且通过被施加物理量而沿着与所述第一方向正交的第二方向进行检测振动；第一检测信号电极、第二检测信号电极以及基准电位电极，其被配置在所述检测臂上，所述第一检测信号电极具有第一电极部和第二电极部，所述第二检测信号电极具有第三电极部和第四电极部，所述基准电位电极具有：相对于所述第一电极部而成为基准电位的第一基准电位电极部；相对于所述第二电极部而成为基准电位的第二基准电位电极部；相对于所述第三电极部而成为基准电位的第三基准电位电极部；相对于所述第四电极部而成为基准电位的第四基准电位电极部，所述第一电极部与所述第一基准电位电极部之间所产生的信号和所述第二电极部与所述第二基准电位电极部之间所产生的信号，在所述驱动振动时为反相，在所述检测振动时为同相，所述第三电极部与所述第三基准电位电极部之间所产生的信号和所述第四电极部与所述第四基准电位电极部之间所产生的信号，在所述驱动振动时为反相，在所述检测振动时为同相。

由此，成为能够有效地降低混入在检测信号中的噪声，并能够发挥优异的物理量检测灵敏度的物理量检测振动片。