[发明专利]压电元件、压电模块、电子设备以及压电元件的制造方法

权利要求书

1.一种压电元件，其特征在于，所述压电元件具备：

挠性膜；

压电体，设置于所述挠性膜；

第一电极，设置于所述挠性膜的设置有所述压电体一侧的第一面和所述压电体的与所述挠性膜相反一侧的第二面之间；

第二电极，设置于所述第一面和所述第二面之间，在从所述挠性膜的厚度方向观察的俯视下，与所述第一电极隔着第一间隙相对；以及

至少1个中间电极，设置于在所述俯视下所述第一电极和所述第二电极之间且与所述第一电极、所述第二电极隔着第二间隙相对。

2.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于，

所述第一电极和所述第二电极设置于所述挠性膜和所述压电体之间。

3.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于，

所述第一电极和所述第二电极埋入所述压电体的内部。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的压电元件，其特征在于，

所述第一电极和所述第二电极设置于与所述第一面平行的面内。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的压电元件，其特征在于，

所述第一电极具有与所述第二电极相对的第一端面，

所述第二电极具有与所述第一电极相对的第二端面，

所述第一端面和所述第二端面平行。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的压电元件，其特征在于，

所述压电体由钙钛矿型过渡金属氧化物构成。

7.根据权利要求6所述的压电元件，其特征在于，

所述压电体包含Pb、Zr以及Ti。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的压电元件，其特征在于，

所述挠性膜包括与所述压电体相接触的第一层，该第一层由过渡金属氧化物构成。

9.根据权利要求8所述的压电元件，其特征在于，

所述第一层由ZrO₂构成。

10.根据权利要求1至3中任一项所述的压电元件，其特征在于，

所述第一间隙是2μm以上8μm以下。

11.一种压电模块，其特征在于，所述压电模块具备：

挠性膜；

压电体，具有与所述挠性膜相接触的第一面和与所述第一面相反一侧的第二面；

第一电极，设置于所述压电体的所述第一面和所述第二面之间；

第二电极，设置于所述压电体的所述第一面和所述第二面之间，在从所述挠性膜的厚度方向观察的俯视下，与所述第一电极隔着第一间隙相对；以及

配线基板，具有与所述第一电极、所述第二电极电连接的端子部，

所述配线基板具备极化电路，所述极化电路对所述第一电极和所述第二电极之间施加10kV/cm以上的电场来进行极化处理。

12.一种电子设备，其特征在于，所述电子设备具备压电元件和控制部，

所述压电元件具备：挠性膜；压电体，具有与所述挠性膜相接触的第一面和与所述第一面相反一侧的第二面；第一电极，设置于所述压电体的所述第一面和所述第二面之间；第二电极，设置于所述压电体的所述第一面和所述第二面之间，在从所述挠性膜的厚度方向观察的俯视下，与所述第一电极隔着第一间隙相对；以及至少1个中间电极，设置于在所述俯视下所述第一电极和所述第二电极之间且与所述第一电极、所述第二电极隔着第二间隙相对，

所述控制部控制所述压电元件。