[发明专利]旋转装置

权利要求书

1.一种旋转装置，该旋转装置具有保持机构以及自旋旋转机构，其中，该保持机构使至少3个保持爪与晶片的外周接触而对晶片进行保持，该自旋旋转机构具有旋转驱动部，该旋转驱动部使该保持机构以自旋旋转轴为轴而旋转，其中，

该旋转装置具有判断单元，该判断单元对晶片的中心是否与该自旋旋转轴的轴心一致进行判断，

该保持机构具有输出部，该输出部进行根据保持爪的位置的输出，

该判断单元具有：

存储部，其对当至少3个保持爪所保持的晶片的中心与该自旋旋转轴的轴心一致时的来自与各个该保持爪对应的各个输出部的输出值进行存储；以及

判断部，其根据该自旋旋转轴以规定的角度进行了旋转时的该输出部的输出值是否与该存储部所存储的保持爪的输出值一致来判断晶片的偏移。

2.根据权利要求1所述的旋转装置，其中，

所述输出部具有：

传感器，其对当使所述保持爪以保持爪转动轴为轴转动而对晶片进行保持时的该保持爪的位置进行检测；

反应部，其与该保持爪一同以该保持爪转动轴为轴转动而使该传感器发生反应；以及

放大器，其将借助该反应部使该传感器发生反应的量转换成电压。