[发明专利]一种日盲紫外像增强器空间分辨率测试装置及方法

权利要求书

1.一种日盲紫外像增强器空间分辨率测试装置，其特征在于：包括依次设置的紫外光源、毛玻璃片、分辨率测试靶、第一平行光管、紫外窄带滤光片、通光孔径从0.5mm-10mm可调的光阑和第二平行光管，还包括管状壳体、显微镜、支座、导轨和多维调节架；所述显微镜和日盲紫外像增强器设置于多维调节架上；所述多维调节架、紫外光源和管状壳体设置在支座上，所述支座设置在导轨上，用于支撑多维调节架和紫外光源的支座在导轨上轴向移动；

所述第一平行光管、第二平行光管和管状壳体构成光学成像系统，所述第一平行光管、第二平行光管设置在管状壳体中，所述紫外窄带滤光片和光阑插入管状壳体中，光学成像系统成像放大率为1：1，所述第一平行光管包括依次设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜，所述第二平行光管包括依次设置的第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜，所述第一透镜、第二透镜、第四透镜、第五透镜、第七透镜、第八透镜是由CaF₂制成的正透镜，所述第三透镜和第六透镜是由石英制成的凹透镜。

2.根据权利要求1所述的日盲紫外像增强器空间分辨率测试装置，其特征在于：紫外光源为氘灯构成，辐射波段范围为110nm-400nm。

3.根据权利要求1或2所述的日盲紫外像增强器空间分辨率测试装置，其特征在于：毛玻璃片为采用透紫外光的JGS1石英玻璃材料制成的毛玻璃片。

4.根据权利要求3所述的日盲紫外像增强器空间分辨率测试装置，其特征在于：分辨率测试靶为采用JGS1石英玻璃材料光刻制成的USAF1951分辨率板，透过波段185nm-2500nm。

5.一种日盲紫外像增强器空间分辨率测试方法，其特征在于：包括以下步骤：

1)打开电源，给紫外光源和被测日盲紫外像增强器供电，等待10分钟，让紫外光源和日盲紫外像增强器处于稳定状态；

2)调节光阑，使通光孔径最大，同时在轨道上移动载有紫外光源的支座，提高分辨率测试靶标像亮度；

3)使用白纸片在光学成像系统输出端与像增强器之间移动，让靶标像呈现在白纸片上，观察靶标像清晰度变化情况，粗判靶标像面的位置；

4)在轨道上移动载有日盲紫外像增强器的支座，使日盲紫外像增强器的阴极面初步处于靶标像面；

5)装入紫外窄带滤光片，调节光阑到合适的尺寸；

6)移走紫外像增强器阴极遮光保护罩；

7)调节多维调节架一，使日盲紫外像增强器前后移动，同时观察像增强器荧光屏上的靶标像，精调日盲紫外像增强器的位置，直到图像清晰，所述多维调节架一为搭载日盲紫外像增强器的多维调节架；

8)移动载有显微镜的支座，通过目镜观察荧光屏上的靶标像清晰度变化情况，粗调显微镜的位置；

9)移动多维调节架二，使显微镜前后移动，同时通过目镜观察荧光屏上的靶标像，精调显微镜的位置，直到图像清晰，所述多维调节架二为搭载显微镜的多维调节架；

10)再次调节多维调节架一，使紫外像增强器前后移动，同时调节多维调节架二，通过目镜观察荧光屏上的靶标像变化情况；

11)多次重复步骤10)，直到通过显微镜得到的最小图组所对应的数值即为像增强器的空间分辨率。