[发明专利]镁合金表面低应力疏水复合TiSiCN薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201610954166.6 | 申请日： | 2016-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN106498396B | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 李海涛;荣守范;李星逸;孙鹏飞;李俊刚;董海;朱永长;孙建波 | 申请（专利权）人： | 佳木斯大学 |
| 主分类号： | C23C28/04 | 分类号： | C23C28/04 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 侯静 |
| 地址： | 154007 黑龙江省佳*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镁合金 表面 应力 疏水 复合 tisicn 薄膜 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
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