[发明专利]一种梯度结构类金刚石薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201610955123.X | 申请日： | 2016-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN106521493B | 公开（公告）日： | 2018-11-02 |
| 发明（设计）人： | 彭继华;苏东艺;梁献文 | 申请（专利权）人： | 广州今泰科技股份有限公司;华南理工大学 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00 |
| 代理公司： | 北京精金石知识产权代理有限公司 11470 | 代理人： | 刘晔 |
| 地址： | 510530 广东省广州市经济技*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 梯度 结构 金刚石 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
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