[发明专利]一种全金属小体积容器及其体积测定系统、方法

权利要求书

1.一种全金属小体积容器的体积测定系统，其特征在于：该系统包括与全金属小体积容器的不锈钢管进气口(11)连通的高精度隔膜规(19)、以及不锈钢冷阱(20)、第一金属阀门(21)、第二金属阀门(22)、已知大小的小体积容器(23)、第三金属阀门(24)、第四金属阀门(25)、第五金属阀门(26)、无油分子泵组(27)、高纯二氧化碳气瓶(29)，高精度隔膜规(19)的入口分别与不锈钢冷阱(20)、第一金属阀门(21)、第三金属阀门(24)的一端连通；第一金属阀门(21)的另一端与已知大小的小体积容器(23)的一端连通，已知大小的小体积容器(23)的另一端与第二金属阀门(22)的一端连通；第二金属阀门(22)的另一端分别与第四金属阀门(25)、第五金属阀门(26)的一端连通，第五金属阀门(26)的另一端分别与第三金属阀门(24)的另一端、无油分子泵组(27)的出口连通；第四金属阀门(25)的另一端与高纯二氧化碳气瓶(29)的出口连通。

2.根据权利要求1所述的全金属小体积容器的体积测定系统，其特征在于：所述的第四金属阀门(25)与高纯二氧化碳气瓶(29)之间还设有减压阀(28)。

3.根据权利要求2所述的全金属小体积容器的体积测定系统，其特征在于：所述的小体积容器(23)包括第一常闭型气缸(1)、第一碳钢驱动杆(2)、第一焊接波纹管(3)、不锈钢管出气口(5)、第二常闭型气缸(7)、第二碳钢驱动杆(8)、第二焊接波纹管(9)、不锈钢管进气口(11)、待测小体积(12)和底座(14)，第一常闭型气缸(1)的气缸杆与第一碳钢驱动杆(2)外侧端部连接，第二常闭型气缸(7)的气缸杆与第二碳钢驱动杆(8)外侧端部连接；第一焊接波纹管(3)位于第一碳钢驱动杆(2)的中部凸台与内侧端部的第一不锈钢球形阀头(13)之间，第一不锈钢球形阀头(13)位于底座(14)上部的锥形孔内；第二焊接波纹管(9)位于第二碳钢驱动杆(8)中部凸台与内侧端部的第二不锈钢球形阀头(6)之间，第二不锈钢球形阀头(6)位于底座(14)下部的锥形孔内；底座(14)的上下两个锥形孔之间为待测小体积(12)；底座(14)两侧内分别插有与其内部连通的不锈钢管出气口(5)、不锈钢管进气口(11)。

4.根据权利要求3所述的全金属小体积容器的体积测定系统，其特征在于：所述的第一焊接波纹管(3)外侧套有第一不锈钢管(15)，第一不锈钢管(15)与底座(14)之间通过第一螺帽(16)连接；第二焊接波纹管(9)外侧套有第二不锈钢管(17)，第二不锈钢管(17)与底座(14)之间通过第二螺帽(18)连接。

5.根据权利要求4所述的全金属小体积容器的体积测定系统，其特征在于：所述的不锈钢管出气口(5)位于底座(14)上部，不锈钢管进气口(11)底座(14)下部，不锈钢管出气口(5)、不锈钢管进气口(11)沿底座(14)周向呈180°分布。

6.根据权利要求5所述的全金属小体积容器的体积测定系统，其特征在于：所述的的第一焊接波纹管(3)与底座(14)之间设有第一银密封垫圈(4)，第二焊接波纹管(9)与底座(14)之间设有第二银密封垫圈(10)。