[发明专利]可溯源的在片高值电阻测量系统及其溯源方法

权利要求书

1.一种可溯源的在片高值电阻测量系统的溯源方法，其特征在于，所述可溯源的在片高值电阻测量系统包括高值电阻测量仪器、探针系统，高值电阻测量仪器和探针系统通过线缆连接，所述探针系统包括探针一组和探针二组，所述高值电阻测量仪器与探针一组连接或与探针二组连接；

所述高值电阻测量仪器通过线缆与探针一组连接，标准高值电阻通过线缆与探针二组连接；

或者是，所述高值电阻测量仪器与探针二组连接，标准高值电阻与探针一组连接；

在片直通对接线连接探针一组和探针二组；

对可溯源的在片高值电阻测量系统进行不确定度评价，测量的不确定度分解为以下2项：

(1)未修正的系统误差对应的不确定度u₁；

(2)随机误差对应的不确定度u₂；

u₁进一步分解为高值电阻测量仪器的系统误差对应的不确定度u₁₁，对应于R处，以及线缆及探针的系统误差对应的不确定度u₁₂，对应于R-A间；

u₁₁直接采用其说明书技术指标R_spec，按照均匀分布处理来确定，即

对于不确定度u₁₂，则将R-A间的测量回路扩展为R-B间测量回路，该测量回路包括探针一组及线缆、在片直通对接线、探针二组及线缆、标准高值电阻，然后评估R-B间测量回路引入的系统误差上限，按照均匀分布处理，作为u₁₂的估计值；

不确定度具体操作步骤如下：首先使用高值电阻测量仪器直接测量标准高值电阻，对应于R处，重复若干次取平均值Rr；然后测量B处的标准高值电阻，重复若干次取平均值Rx；|Rr-Rx|作为系统误差上限，即

对于u₂，多次测量被测，并取数据的实验标准差S作为的u₂估计值，即

u₂＝S (2)

合成为标准不确定度：

取扩展系数k＝2，扩展不确定度：

U即测量结果的不确定度。

2.根据权利要求1所述的可溯源的在片高值电阻测量系统的溯源方法，其特征在于，对于两组探针均含2枚探针的情况，也即探针系统为4探针时，线缆采用同轴线缆，同轴线缆A的一端连接高值电阻测量仪器，另一端连接探针H和探针L；同轴线缆B的一端连接标准高值电阻，另一端连接探针H’和探针L’；探针H与探针H’通过在片直通对接线连接，探针L与探针L’通过在片直通对接线连接，操作在片高值电阻测量系统测量阻值，与标准高值电阻阻值比较，即实现参数的溯源；

对于两组探针均含3枚探针的情况，也即探针系统为6探针时，线缆采用三同轴线缆，三同轴线缆A的一端连接高值电阻测量仪器，另一端连接探针H、探针L和探针G；三同轴线缆B的一端连接标准高值电阻，另一端连接探针H’、探针L’和探针G’；3根在片直通对接线分别将探针H与探针H’连接、探针L与探针L’连接、探针G与探针G’连接，操作在片高值电阻测量系统测量阻值，与标准高值电阻阻值比较，即实现参数的溯源。

3.根据权利要求1所述的可溯源的在片高值电阻测量系统的溯源方法，其特征在于，在片直通对接线的结构是在绝缘衬底上设有金属导通线，金属导通线为扁平结构。

4.根据权利要求3所述的可溯源的在片高值电阻测量系统的溯源方法，其特征在于，金属导通线的材料为Au，绝缘衬底的材料为陶瓷或者蓝宝石。