[发明专利]一种可变双焦点激光微加工装置

权利要求书

1.一种可变双焦点激光微加工装置，其特征在于：包括第一激光器(1)、第二激光器(2)、第一关闸(3)、第一反射镜(4)、第一半波片(5)、缩束镜(6)、第二反射镜(7)、偏振分光合光镜(8)、第二半波片(9)、第三反射镜(10)、第二关闸(11)、第四反射镜(12)、聚焦镜(13)、保护镜(14)、第一焦点(15)和第二焦点(16)，所述的第一激光器(1)和第二激光器(2)输出光为水平偏振光，所述的第一激光器(1)位于第二激光器(2)的正上方，所述的第一激光器(1)的右侧安装有第一关闸(3)，所述的第一关闸(3)右侧安装有第一反射镜(4)，所述的第一反射镜(4)与第一激光器(1)输出光成45°夹角且第一反射镜(4)的反射光垂直向下，所述的第一半波片(5)安装在第一反射镜(4)的正下方，所述的缩束镜(6)安装在第一半波片(5)的正下方，所述的第二反射镜(7)安装在缩束镜(6)的正下方，所述的第二反射镜(7)与第一反射镜(4)的反射光成45°夹角且第二反射镜(7)的反射光水平向左，所述的偏振分光合光镜(8)安装在第二反射镜(7)的左侧，所述的第二关闸(11)安装在第二激光器(2)的右侧，所述的第二关闸(11)右侧安装有第三反射镜(10)，所述的第三反射镜(10)与第三反射镜(10)输出光成45°夹角且第三反射镜(10)的反射光垂直向下，所述的第二半波片(9)安装在第三反射镜(10)下方且第二半波片(9)位于偏振分光合光镜(8)的上方，所述的第四反射镜(12)安装在偏振分光合光镜(8)左侧，所述的第四反射镜(12)与第二反射镜(7)的反射光成45°夹角且第四反射镜(12)的反射光垂直向下，所述的聚焦镜(13)安装在第四反射镜(12)的下方，所述的保护镜(14)安装在聚焦镜(13)的下方，所述的第一焦点(15)和第二焦点(16)都位于保护镜(14)的下方且第一焦点(15)位于第二焦点(16)的上方。

2.根据权利要求1所述的一种可变双焦点激光微加工装置，其特征在于：所述的第一激光器(1)和第二激光器(2)采用波长相同的激光器或是同一台激光器的两个输出口。

3.根据权利要求1所述的一种可变双焦点激光微加工装置，其特征在于：所述的缩束镜(6)采用望远镜装置，也可以采用倒置望远镜形成扩束装置。

4.根据权利要求2所述的一种可变双焦点激光微加工装置，其特征在于：所述的第一激光器(1)和第二激光器(2)相互独立且两者的参数都可以独立设置。

5.根据权利要求1所述的一种可变双焦点激光微加工装置，其特征在于：所述的聚焦镜(13)可以采用凸透镜汇聚光组，也可以采用物镜。