[发明专利]流率测量型粘性液体施配器和施配方法

说明书

相关申请案的交叉参考

本申请案主张2015年10月30日在韩国知识产权局提交的第10-2015-0152480号韩国专利申请案的权益，所述申请案的揭示内容以全文引用的方式并入本文中。

技术领域

本发明涉及流率测量型粘性液体施配器和施配方法，且更确切地说，涉及待施配的粘性液体的流率可通过实时测量粘性液体的流率，来准确控制的流率测量型粘性液体施配器和施配方法。

背景技术

在半导体工艺或发光二极管(light-emittingdiode；LED)制造工艺中，广泛使用用于涂布粘性液体的施配器(dispenser)。

在此类施配器中，待涂布的粘性液体量的准确调整，对工艺质量有很大影响。确切地说，例如硅或环氧树脂等粘性液体具有根据温度敏感地变化的粘度。举例来说，当硅在施配期间与硬化剂混合时，硅具有随时间推移而变化的粘度。如上文所描述，归因于各种原因，例如粘性液体的特性的变化，施配量可在施配操作期间变化。

根据现有技术，使用刻度执行的校准方法被频繁使用，以便维持均匀施配量。施配的粘性液体的重量在实验上使用刻度测量，以检查使用施配器的粘性液体的施配条件，且通过调整可改变粘性液体的流率以恢复施配操作的因素，来调整粘性液体的流率。然而，在此方法中，仅在实验上测量液体的流率，且在实际施配工艺期间，施配的液体的流率或施配的液体的流率改变是未知的。举例来说，即使在施配操作期间产生导致流率改变的因素，仍在未发现因素的情况下继续施配操作，且在此情况下，会产生大量有缺陷的产品。

发明内容

本发明的一个或多个示范性实施例包含流率测量型粘性液体施配器和施配方法，其中，粘性液体可通过调整待施配的粘性液体量，通过接收在施配操作期间实际上施配的粘性液体的流率(flowrate)，来进行施配。

下文的描述中将部分地阐述额外方面，并且通过描述将清楚地知道这些方面，或者通过实践所提出的实施例可以得知这些方面。

根据一个或多个示范性实施例，流率测量型粘性液体施配器包含：注射器(syringe)，用于存储待施配的粘性液体；泵模块，包括喷嘴(nozzle)，且通过从注射器接收粘性液体，而经由喷嘴施配粘性液体；流率传感器模块，安装于连接泵模块的喷嘴和注射器的流动路径中，且经配置以测量粘性液体的流率；以及控制器，经配置以接收使用流率传感器模块测量的粘性液体的流率，且产生用于控制泵模块的操作的控制信号。

根据一个或多个示范性实施例，流率测量型粘性液体施配方法包含：(a)操作泵模块，以经由泵模块的喷嘴，而施配存储于注射器中的粘性液体；(b)通过使用安装于连接注射器和喷嘴的路径中的流率传感器模块，而测量从注射器转移到喷嘴的粘性液体的流率；以及(c)基于(b)中测得的粘性液体流率，增加或减少经由泵模块的喷嘴而施配的粘性液体量。

附图说明

通过结合附图对实施例进行的以下描述，这些和/或其它方面将变得显而易见并且更加容易理解，其中：

图1为根据本发明的实施例的流率测量型粘性液体施配器的示意图。

图2为根据本发明的另一个实施例的流率测量型粘性液体施配器的示意图。

附图标记说明：

110：注射器

120：泵模块

121：喷嘴

122：储液槽

123：阀杆

124：升降单元

1241：压电致动器

1242：压电致动器

1243：杠杆

130：流率传感器模块

131：加热器

132：温度传感器

133：温度传感器

134：计算器

135：测量管

140：控制器

210：注射器

220：泵模块

221：喷嘴

222：喷射路径

223：气动路径

230：流率传感器模块

231：加热器

232：温度传感器

233：温度传感器

234：计算器

235：测量管

240：控制器

L：粘性液体

具体实施方式

现将参考附图，更全面地描述根据本发明的流率测量型粘性液体施配器和施配方法。