[发明专利]用于PVD溅射腔室的可偏压式通量优化器/准直器

权利要求书

1.一种准直器，所述准直器包括：

蜂巢状结构，所述蜂巢状结构具有限定并分开六边形孔隙的壁，其中所述六边形孔隙包括：

第一多个六边形孔隙，所述第一多个六边形孔隙在中心区域中，具有第一深宽比；

第二多个六边形孔隙，所述第二多个六边形孔隙在周边区域中，具有第二深宽比，所述第二深宽比小于所述第一深宽比；以及

第三多个六边形孔隙，所述第三多个六边形孔隙在过渡区域中，所述过渡区域设置在所述中心区域与所述周边区域之间，其中限定所述过渡区域的所述第三多个孔隙的壁形成将所述中心区域包围的圆锥形状，并且所述壁的上部部分包括入口角部分。

2.根据权利要求1所述的准直器，其特征在于，所述入口角部分具有从约2度至约16度的预定角度。

3.根据权利要求2所述的准直器，其特征在于，所述入口角部分具有约2.5度的预定角度，并且具有约2.54厘米的长度。

4.根据权利要求2所述的准直器，其特征在于，所述入口角部分具有约15度的预定角度，并且具有约3.81毫米的长度。

5.根据权利要求1所述的准直器，其特征在于，所述第一深宽比为从约2.5:1至约3:1，并且所述第二深宽比为从约1:1至约2:1。

6.一种准直器组件，所述准直器组件包括：

准直器部分，所述准直器部分包括：

蜂巢状结构，所述蜂巢状结构具有限定并分开六边形孔隙的壁，其中所述六边形孔隙包括：

第一多个六边形孔隙，所述第一多个六边形孔隙在中心区域中，具有第一深宽比；

第二多个六边形孔隙，所述第二多个六边形孔隙在周边区域中，具有第二深宽比，所述第二深宽比小于所述第一深宽比；以及

第三多个六边形孔隙，所述第三多个六边形孔隙在过渡区域中，所述过渡区域设置在所述中心区域与所述周边区域之间，其中限定所述过渡区域的所述第三多个孔隙的壁形成将所述中心区域包围的圆锥形状，并且所述壁的上部部分包括入口角部分；以及

遮蔽部分，所述遮蔽部分与所述准直器耦接，所述遮蔽部分包括：

顶环；

支撑凸缘，所述支撑凸缘位于所述顶环下方，所述支撑凸缘径向向外延伸；以及

圆柱形带，所述圆柱形带从所述支撑凸缘向下延伸到所述蜂巢状结构下方的某个高度处。

7.根据权利要求6所述的准直器组件，其特征在于，所述圆柱形带包括：

第一基本竖直部分；以及

径向向内倾斜部分，所述径向向内倾斜部分从所述第一基本竖直部分向下延伸。

8.根据权利要求7所述的准直器组件，其进一步包括：

第二基本竖直部分，所述第二基本竖直部分从所述径向向内倾斜部分向下延伸。

9.根据权利要求7所述的准直器组件，其特征在于，所述径向向内倾斜部分跨所述周边区域中的所述第二多个孔隙的一部分延伸。

10.根据权利要求6所述的准直器组件，其特征在于，所述第一多个孔隙、所述第二多个孔隙和所述第三多个孔隙是有纹理的。

11.根据权利要求6所述的准直器组件，其特征在于，所述入口角部分具有从约2度至约16度的预定角度。

12.根据权利要求11所述的准直器组件，其特征在于，所述入口角部分具有约2.5度的预定角度，并且具有约2.54厘米的长度。

13.根据权利要求6所述的准直器组件，其特征在于，所述第一多个孔隙的所述第一深宽比为从约2.5:1至约3:1。

14.根据权利要求13所述的准直器组件，其特征在于，所述第二深宽比为从约1:1至约2:1。

15.根据权利要求7所述的准直器组件，其特征在于，所述径向向内倾斜部分具有相对于所述第一基本竖直部分从约40度至约50度的角度。

16.根据权利要求8所述的准直器组件，其特征在于，所述径向向内倾斜部分和所述第二基本竖直部分形成具有下部遮蔽件的迷宫式间隙。

17.根据权利要求6所述的准直器组件，其特征在于，所述准直器与DC电源耦接。