[发明专利]一种高密度等离子体溅射镀膜设备在审
| 申请号： | 201610960003.9 | 申请日： | 2016-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN106480420A | 公开（公告）日： | 2017-03-08 |
| 发明（设计）人： | 滕海燕 | 申请（专利权）人： | 合肥优亿科机电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙)34115 | 代理人： | 娄岳,金凯 |
| 地址： | 230888 安徽省合肥市高*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高密度 等离子体 溅射 镀膜 设备 | ||
【说明书】：
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