[发明专利]压电振动片的制造方法

权利要求书

1.一种压电振动片的制造方法，其利用由压电材料形成的圆片来制造压电振动片，所述压电振动片具有压电板、和在所述压电板上形成，且在被施加既定的驱动电压时使所述压电板振动的一对激振电极，其特征在于，具备：

外形形成工序，在所述圆片，形成所述压电板、和经由连结部支撑所述压电板的框架部；

电极形成工序，在所述圆片的主面上及侧面上构图电极膜，对所述压电板形成所述一对激振电极，并且形成从所述压电板通过所述连结部延伸到所述框架部，且相对于所述一对激振电极分别电连接的一对延伸电极；和

单片化工序，截断所述连结部，以使所述压电板单片化，

在所述电极形成工序中，将所述一对延伸电极之中的至少任一个延伸电极形成在所述连结部的侧面上。

2.根据权利要求1所述的压电振动片的制造方法，其特征在于，

在所述外形形成工序中，在所述连结部的侧面形成异形部，所述异形部具有相对于所述圆片的主面倾斜的面，

在所述电极形成工序中，将所述一对延伸电极之中的至少任一个延伸电极形成于所述异形部。

3.根据权利要求1或2所述的压电振动片的制造方法，其特征在于，

在所述外形形成工序中，以宽度从所述框架部朝所述压电板变窄的方式形成所述连结部，

在所述电极形成工序中，在所述连结部之中宽度最窄的窄宽度部的侧面，形成所述一对延伸电极之中的至少任一个延伸电极。