[发明专利]一种粉末颗粒振动式磁控溅射镀膜法有效
| 申请号： | 201610963465.6 | 申请日： | 2016-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN106521437B | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 高学绪;马斌;包小倩;曹帅;卢克超;李纪恒 | 申请（专利权）人： | 北京科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京市广友专利事务所有限责任公司 11237 | 代理人： | 张仲波 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 粉末 颗粒 振动 磁控溅射 镀膜 | ||
【说明书】：
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