[发明专利]用于处理太阳能电池的设备、用于制造太阳能电池的系统和用于测试太阳能电池的方法在审
申请号: | 201610969775.9 | 申请日: | 2016-10-28 |
公开(公告)号: | CN108010984A | 公开(公告)日: | 2018-05-08 |
发明(设计)人: | G·塞勒尔 | 申请(专利权)人: | 应用材料意大利有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/677;H01L21/66;H02S50/10 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 侯颖媖 |
地址: | 意大利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 处理 太阳能电池 设备 制造 系统 测试 方法 | ||
1.一种用于处理太阳能电池的设备,所述设备包括:
双线运输布置,所述双线运输布置具有第一运输线路和第二运输线路且配置为用于运输所述太阳能电池;
至少一个第一工艺站,所述至少一个第一工艺站在所述双线运输布置处;
单线运输布置,所述单线运输布置具有第三运输线路且配置为用于运输所述太阳能电池;
至少一个第二工艺站,所述至少一个第二工艺站在所述单线运输布置处;以及
传送模块,所述传送模块在所述至少一个第一工艺站与所述至少一个第二工艺站之间,其中所述传送模块被配置为用于将所述太阳能电池从所述第一运输线路和所述第二运输线路传送至所述第三运输线路,或反之亦然。
2.如权利要求1所述的设备,其特征在于,所述传送模块具有至少一个传送装置,所述至少一个传送装置被配置为用于将所述太阳能电池从所述第一运输线路和所述第二运输线路移动至所述第三运输线路,或反之亦然。
3.如权利要求2所述的设备,其特征在于,所述至少一个传送装置被配置为用于将所述太阳能电池从所述第一运输线路和所述第二运输线路横向移位至所述第三运输线路,或反之依然。
4.如权利要求2所述的设备,其特征在于,所述至少一个传送装置是第一传送装置和第二传送装置,其中所述第一传送装置被配置为用于将太阳能电池从所述第一运输线路移动至所述第三运输线路,并且其中所述第二传送装置被配置为用于将太阳能电池从所述第二运输线路移动至所述第三运输线路。
5.如权利要求2所述的设备,其特征在于,所述至少一个传送装置选自由以下项组成的组:夹持器、机械夹持器、真空夹持器、伯努利型固持器、静电夹持器、电动夹持器、和它们的任何组合。
6.如权利要求1所述的设备,其特征在于,所述至少一个第一工艺站选自由以下项组成的组:电气测试站、光学检查站、印刷站、干燥站、分类站、和它们的任何组合。
7.如权利要求1所述的设备,其特征在于,所述至少一个第二工艺站选自由以下项组成的组:电气测试站、光学检查站、印刷站、干燥站、分类站、和它们的任何组合。
8.如权利要求1所述的设备,其进一步包括在所述至少一个第二工艺站下游的分类站。
9.如权利要求1至8任一项所述的设备,其特征在于,所述第一运输线路和所述第二运输线路以彼此相继和彼此平行中的至少一个方式延伸。
10.一种用于制造太阳能电池的系统,所述系统包括:
一或多个生产站,所述一或多个生产站用于生产所述太阳能电池;以及
如权利要求1所述的设备,其中所述设备被配置为用于以下中的至少一者:测试和检查由所述一或多个生产站生产的所述太阳能电池。
11.如权利要求10所述的系统,其特征在于,所述双线运输布置的所述第一运输线路和所述第二运输线路延伸通过所述一或多个生产站中的至少一个生产站。
12.如权利要求10或11所述的系统,其特征在于,所述一或多个生产站选自由以下项组成的组:印刷站、干燥站、缓冲站、和它们的任何组合。
13.一种用于测试太阳能电池的方法,所述方法包括:
对布置于双线运输布置的第一运输线路和第二运输线路上的所述太阳能电池执行第一测试程序;
将定位于所述第一运输线路和所述第二运输线路上的所述太阳能电池移动至单线运输布置中的第三运输线路;以及
对布置于所述第三运输线路上的所述太阳能电池执行第二测试程序。
14.如权利要求13所述的方法,其特征在于,所述第一测试程序包括测量所述太阳能电池的电气特性。
15.如权利要求13或14所述的方法,其特征在于,所述第二测试程序包括光学检查所述太阳能电池。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的