[发明专利]吊装传送机的抓手单元

说明书

本发明提供了一种吊装传送机的抓手单元。被固定至由所述吊装传送机中的抬升单元抬升的皮带以装载和卸载卡匣的所述抓手单元包括本体部分，其被固定至所述皮带；感测部分，其被设置在所述本体部分上以测量所述本体部分的振动方向，在抬升被固定至所述皮带的所述本体部分的同时发生振动；振动阻尼部分，其被设置在所述本体部分上以改变配重的位置，从而减少所述本体部分的振动；控制部分，其被配置成控制所述振动阻尼部分的操作以使得所述配重根据由所述感测部分测量的所述本体的所述振动方向改变位置；以及固定部分，其被设置在所述本体部分的底表面上以固定所述卡匣。因此，可减少当装载和卸载所述卡匣时发生的所述振动。

背景技术

本发明涉及一种吊装传送机的抓手单元，且更具体地涉及一种吊装传送机的抓手单元，其能够在装载和卸载卡匣时抓住卡匣。

在基板上进行各种工艺以制造半导体装置或液晶显示器装置。使用将基板转移至进行工艺的加工装置的吊装传送机。在这里，为了改进吊装传送机的转移效率，基板被收纳在能够收纳多个基板的卡匣中，且随后在卡匣中装载有基板的状态中将卡匣转移至吊装传送机。

此外，卡匣可通过吊装传送机下降且随后被装载至加工装置中的每一个的装载口中，或可由吊装传送机从装载口卸载卡匣以上升。在这里，吊装传送机可通过使用皮带而固定抓手单元以固定卡匣，并通过使用抬升单元而允许皮带上升，以进行卡匣的装载和卸载。

由于抓手单元是通过使用皮带而固定的，当抬升抓手单元时，在抓手单元中可能会频繁地发生振动。因此，由于振动，可能无法准确地装载和卸载卡匣。可替代地，由于卡匣必须待机直到解决振动为止，因此需要很长时间来装载和卸载卡匣。

发明内容

本发明提供一种抓手单元，用于在卡匣被吊装传送机中的皮带固定的状态下抬升卡匣以装载和卸载卡匣时，减少所发生的振动。

根据一个示例性实施例，一种被固定至由吊装传送机中的抬升单元抬升的皮带以装载和卸载卡匣的吊装传送机的抓手单元包括本体部分，其被固定至皮带；感测部分，其被设置在本体部分上以测量本体部分的振动方向，该振动在抬升被固定至皮带的本体部分时发生；振动阻尼部分，其被设置在本体部分上以改变配重的位置，从而减少本体部分的振动；控制部分，其被配置成控制振动阻尼部分的操作以使得配重根据由感测部分测量的本体的振动方向改变位置；以及固定部分，其被设置在本体部分的底表面上以固定卡匣。

振动阻尼部分可包括配重，其被设置在本体部分的顶表面上以减少本体部分的振动；以及驱动马达，其被连接至配重以绕旋转轴的中心旋转配重，从而改变配重的位置。

振动阻尼部分还可包括扭转弹簧和旋转阻尼器，其被设置在驱动马达的旋转轴上以减少由于配重的旋转而产生的振动。

振动阻尼部分可包括第一和第二振动阻尼器，其是沿X轴线方向彼此对称地进行设置的且X轴线方向对应于关于本体部分的中心点的左/右方向；以及第三和第四振动阻尼器，其是沿Y轴线方向彼此对称地进行设置的且Y轴线方向对应于关于中心点的前/后方向。

控制部分控制第三和第四振动阻尼器，以当沿X轴线方向在本体部分中发生振动时，使第三和第四振动阻尼器的配重改变位置，且控制部分控制第一和第二振动阻尼器，以当沿Y轴线方向在本体部分中发生振动时，使第一和第二振动阻尼器的配重改变位置。

控制部分控制第一和第二振动阻尼器，以当在本体部分中发生偏航振动时，使第一和第二振动阻尼器的配重差异性地改变位置。

附图说明

根据结合附图的下列说明，将更详细地理解示例性实施例，其中：

图1是用于解释根据一个示例性实施例的吊装传送机的抓手单元的平面视图；以及

图2是用于解释图1所示的抓手单元的侧视图。

具体实施方式