[发明专利]磁性封装微机器人及其制备方法有效
| 申请号： | 201610973129.X | 申请日： | 2016-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN106517081B | 公开（公告）日： | 2018-03-09 |
| 发明（设计）人： | 李晖;陈静;张南南;王磊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B1/00 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙)44316 | 代理人： | 赵勍毅 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磁性 封装 微机 及其 制备 方法 | ||
1.一种磁性封装微机器人的制备方法，其特征在于，包括：
提供硅片，在所述硅片上制备Omnicoat牺牲层；
在所述Omnicoat牺牲层上旋涂SU-8光刻胶形成SU-8基层；得到第一预制层结构；
将所述第一预制层结构在60-70℃烘烤1.5-3分钟，然后在90-100℃烘烤3-5分钟；
采用掩模对准器，在紫外线光源照射下，对所述第一预制层结构进行图形化曝光20-35s；
将所述第一预制层结构在60-70℃烘烤1.5-3分钟，然后在90-100℃烘烤3-5分钟；
在所述SU-8基层上涂覆磁性复合材料，得到第二预制层结构；
将所述第二预制层结构在60-70℃烘烤1.5-3分钟，然后在90-100℃烘烤3-5分钟；
采用掩模对准器，在紫外线光源照射下，对所述第二预制层结构进行图形化曝光25-35s；
将所述第二预制层结构在60-70℃烘烤1.5-3分钟，然后在90-100℃烘烤3-5分钟；
对所述第二预制层结构进行显影操作；
在所述第二预制层结构的外表面涂覆SU-8光刻胶，得到第三预制层结构；
将所述第三预制层结构进行在60-70℃烘烤1.5-3分钟，然后在90-100℃烘烤3-5分钟；
采用掩模对准器，在紫外线光源照射下，对所述第三预制层结构进行图形化曝光25-35s；
将所述第三预制层结构在60-70℃烘烤1.5-3分钟，然后在90-100℃烘烤3-5分钟；
对所述第三预制层结构进行显影操作，得到磁性封装微机器人。
2.根据权利要求1所述的磁性封装微机器人的制备方法，其特征在于，所述磁性复合材料由钕 铁硼磁粉和SU-8光刻胶组成。
3.根据权利要求2所述的磁性封装微机器人的制备方法，其特征在于，所述磁性复合材料由质量分数为60％钕 铁硼磁粉和质量分数为40％的SU-8光刻胶组成。
4.根据权利要求2所述的磁性封装微机器人的制备方法，其特征在于，所述钕 铁硼磁粉的平均直径为2微米。
5.根据权利要求1所述的磁性封装微机器人的制备方法，其特征在于，所述在所述Omnicoat牺牲层上旋涂SU-8光刻胶为：先以旋涂速度为400-600rpm旋涂3-8s，再以旋涂速度为1800-2000rpm旋涂30s。
6.根据权利要求1所述的磁性封装微机器人的制备方法，其特征在于，所述磁性复合材料的制备方法为：在微量离心管中混合质量分数为60％钕 铁硼磁粉与质量分数为40％的SU-8光刻胶。
7.根据权利要求6所述的磁性封装微机器人的制备方法，其特征在于，在所述SU-8基层上涂覆磁性复合材料之前，将所述磁性复合材料在3000r/min的条件下涡旋30分钟，实现所述钕 铁硼磁粉在SU-8光刻胶中的均匀分布。
8.根据权利要求1所述的磁性封装微机器人的制备方法，其特征在于，所述对所述第二预制层结构进行图形化曝光的曝光能量为130mJ/cm2。
9.根据权利要求1所述的磁性封装微机器人的制备方法，其特征在于：
所述对所述第二预制层结构进行显影操作为：将所述第二预制层结构置于SU-8光刻胶显影剂中浸泡，除去未交联的SU-8光刻胶，再用去离子水清洗后风干；
所述对所述第三预制层结构进行显影操作为：将所述第三预制层结构置于SU-8光刻胶显影剂中浸泡，除去未交联的SU-8光刻胶，再用去离子水清洗后风干。
10.一种磁性封装微机器人，其特征在于，所述磁性封装微机器人为根据权利要求1-9任意一项权利要求所述的制备方法获得的所述磁性封装微机器人。
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