[发明专利]一种直写式丝网制版系统的光均匀性补偿方法

权利要求书

1.一种直写式丝网制版系统的光均匀性补偿方法，用于对直写式丝网制版系统中光均匀性进行补偿，所述直写式丝网制版系统由可编程数据控制器根据版图中的图形位置和网版的位置实时生成曝光需要的光学图案并驱动空间光调制器完成曝光任务实现直写式制版，其特征在于，所述光均匀性补偿方法的过程为：空间光调制器投影全白图得到投影图像；电荷耦合元件获取投影图像的光强分布并形成灰度分布图；获取灰度分布图的列灰度数据并以列灰度数据为基础进行灰度补偿运算获取灰度补偿数据；将灰度补偿数据形成灰度表格数据并发送到数据处理系统中；在数据处理系统中利用灰度表格数据对等待曝光的图形数据进行补偿运算，得到补偿处理后的数据；由数据处理系统将补偿处理后的数据写入空间光调制器中以调制空间光调制器的输出，实现对光均匀性的补偿。

2.根据权利要求1所述的一种直写式丝网制版系统的光均匀性补偿方法，其特征在于，所述投影图像的获取过程为：将所述空间光调制器置于全开状态，照明光源发出的光经过复眼系统转变为面光源，所述面光源经过光学照明系统照射到所述空间光调制器上，所述空间光调制器将入射光调制后经光路成像在所述电荷耦合元件上，所述电荷耦合元件获取的图像即为所述投影图像。

3.根据权利要求2所述的一种直写式丝网制版系统的光均匀性补偿方法，其特征在于：所述面光源的光均匀度大于95%。

4.根据权利要求1所述的一种直写式丝网制版系统的光均匀性补偿方法，其特征在于：所述投影全白图是指照射到所述空间光调制器的光全部反射或折射到所述电荷耦合原件上。

5.根据权利要求1所述的一种直写式丝网制版系统的光均匀性补偿方法，其特征在于：所述电荷耦合元件的工作状态为非饱和。

6.根据权利要求1所述的一种直写式丝网制版系统的光均匀性补偿方法，其特征在于：所述获取灰度分布图的列灰度数据的方法是将所述投影图像的灰度分布图中同一列的点的灰度值累加。