[发明专利]用于扫描目标区的装置和方法

权利要求书

1.一种用于扫描目标区(218)的装置，该装置包括：

光源(204)，该光源(204)在所述光源(204)的操作期间发射激光束(216)；

扫描系统(206)，该扫描系统(206)将所述激光束(216)引导至所述目标区(218)，并且在所述目标区(218)的扫描发生时设置所述激光束(216)的扫描角(226)；以及

聚焦系统(208)，在所述目标区(218)的扫描发生时该聚焦系统(208)设置所述激光束(216)的散度(230)，其中，在扫描所述目标区(218)时所述激光束(216)的所述扫描角(226)的变化量和所述散度(230)中的至少一个的变化改变了在所述目标区(218)内的分辨率(240)，

其中，所述目标区包括第一区段和第二区段，所述第一区段中的待扫描的位置的密度大于所述第二区段中的待扫描的位置的密度，

其中，所述聚焦系统按如下方式来设置所述激光束的散度：在所述激光束被引导至所述第一区段时所述激光束的散度比在所述激光束被引导至所述第二区段时所述激光束的散度小。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述扫描角(226)的所述变化量和所述散度(230)被设置成，使得所述散度(230)基于所述扫描角(226)的所述变化量，或者所述扫描角(226)的所述变化量基于所述散度(230)。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其中，所述扫描角(226)的所述变化量和所述散度(230)中的至少一个被设置成，使得所述扫描角(226)从所述目标区(218)中的一个位置至另一位置的度数变化等于针对所述散度(230)的度数。

4.根据权利要求1或2所述的装置，其中，所述扫描系统(206)将所述激光束(216)引导至所述目标区(218)中的位置(220)，并且所述装置还包括：

检测器(508)，该检测器(508)检测针对被引导至所述目标区(218)中的所述位置(220)的所述激光束(216)的响应，其中，利用所述响应来标识距所述目标区(218)中的所述位置(220)的距离(236)。

5.根据权利要求1或2所述的装置，其中，所述聚焦系统(208)包括：

第一透镜(300)，该第一透镜(300)在光轴(304)上，其中，所述激光束(216)沿着所述光轴(304)穿过所述第一透镜(300)；以及

第二透镜(302)，该第二透镜(302)能够在所述光轴(304)上移动，其中，所述激光束(216)在穿过所述第一透镜(300)之后穿过所述第二透镜(302)，并且其中，被引导至所述目标区(218)的所述激光束(216)的所述散度(230)根据所述第二透镜(302)沿所述光轴(304)的移动而改变。

6.根据权利要求1或2所述的装置，其中，所述聚焦系统(208)包括：

发散透镜(306)，该发散透镜(306)在所述发散透镜(306)的不同区段(310)中具有不同程度的散度(230)，其中，基于所述不同区段(310)中的、所述激光束(216)穿过所述发散透镜(306)的那个区段，来设置所述激光束(216)到达所述目标区(218)中的一位置的散度(230)。

7.根据权利要求1或2所述的装置，其中，所述扫描系统(206)包括：

多个镜子(400)，所述多个镜子(400)能够绕多个轴(402)移动。

8.根据权利要求1或2所述的装置，其中，所述扫描系统(206)包括：

道威棱镜(414)，该道威棱镜(414)能够绕轴(408)旋转。

9.根据权利要求1或2所述的装置，其中，所述激光束(216)具有从10nm至700nm中选择的波长。