[发明专利]一种X射线掠入射镜头远距离光源对准装置及其对准方法

权利要求书

1.一种X射线掠入射镜头远距离光源对准装置，其特征在于：包括扩束激光器(1)、双轴姿态调整架(2)、升降平移三角架(3)、孔径光阑(4)、四自由度平移旋转台(5)、掠入射镜头(6)和X射线源(7)；扩束激光器(1)安装在双轴姿态调整架(2)上，双轴姿态调整架(2)安装在升降平移三角架(3)上，掠入射镜头(6)安装在四自由度平移旋转台(5)上，孔径光阑(4)安装在扩束激光器(1)和掠入射镜头(6)之间，X射线源(7)安装在扩束激光器(1)和孔径光阑(4)之间。

2.根据权利要求1所述的一种X射线掠入射镜头远距离光源对准装置，其特征在于：所述扩束激光器(1)的激光波长为632.8nm，扩束激光器(1)的光束直径大于30mm，扩束激光器(1)的光束准直度优于3′，扩束激光器(1)的功率小于5mW。

3.根据权利要求1所述的一种X射线掠入射镜头远距离光源对准装置，其特征在于：所述双轴姿态调整架(2)的俯仰偏转范围是-5°～5°，双轴姿态调整架(2)的角度精度优于30″。

4.根据权利要求1所述的一种X射线掠入射镜头远距离光源对准装置，其特征在于：所述升降平移三角架(3)的升降范围大于0.5m，升降平移三角架(3)的平移范围大于0.2m。

5.根据权利要求1所述的一种X射线掠入射镜头远距离光源对准装置，其特征在于：所述孔径光阑(4)为圆形，孔径光阑(4)的直径范围是0～2cm，孔径光阑(4)的厚度大于1mm，孔径光阑(4)采用铜材料。

6.根据权利要求1所述的一种X射线掠入射镜头远距离光源对准装置，其特征在于：所述四自由度平移旋转台(5)的俯仰偏转范围是-5°～5°，四自由度平移旋转台(5)的角度精度优于10″，四自由度平移旋转台(5)的升降平移范围是-200～200mm，四自由度平移旋转台(5)的平移精度优于10um。

7.根据权利要求1所述的一种X射线掠入射镜头远距离光源对准装置，其特征在于：所述掠入射镜头(6)的直径大于100mm，掠入射镜头(6)的视场小于30′。

8.根据权利要求1所述的一种X射线掠入射镜头远距离光源对准装置，其特征在于：所述X射线源(7)为X射线光管，X射线源(7)的光子能量范围是0.5～10keV。

9.一种利用权利要求1～8任一项所述的X射线掠入射镜头远距离光源对准装置的对准方法，其特征在于：包括如下步骤：

第一步，分别安装扩束激光器(1)、双轴姿态调整架(2)、升降平移三角架(3)、四自由度平移旋转台(5)和掠入射镜头(6)；

第二步，利用双轴姿态调整架(2)和升降平移三角架(3)调整扩束激光器(1)激光束位置和方向，使所述激光束射入掠入射镜头(6)并在掠入射镜头(6)的焦面聚焦，形成聚焦斑；

第三步，利用四自由度平移旋转台(5)微调掠入射镜头(6)位置和姿态，使所述聚焦斑为双扇形，规则且对称，边长相等；

第四步，将孔径光阑(4)安装在扩束激光器(1)和掠入射镜头(6)之间，使孔径光阑(4)中心与所述激光束中心重合；

第五步，将X射线源(7)安装在扩束激光器(1)和孔径光阑(4)之间，使X射线源(7)中心与所述激光束中心重合。