[发明专利]扫描式激光诱导光谱面范围分析检测系统有效

专利信息
申请号: 201610975941.6 申请日: 2016-11-07
公开(公告)号: CN106568762B 公开(公告)日: 2019-08-06
发明(设计)人: 赵天卓;连富强;貊泽强;林蔚然;刘洋;聂树真;肖红;张鸿博;樊仲维 申请(专利权)人: 中国科学院光电研究院
主分类号: G01N21/71 分类号: G01N21/71
代理公司: 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 代理人: 李阳;李浩
地址: 100094 北京市海*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 激光诱导 诱导 外置 激光发射头 光谱 等离子体 扫描式激光 光谱仪 被测样品 范围分析 检测系统 收光装置 等离子体形成 汇聚 散射光汇聚 散射光信号 波长光谱 光谱采集 光学装置 光源产生 激光发射 强度数据 等离子 大能量 反射镜 光学轴 激光束 宽光谱 调焦 分光 光源 激光 光纤 采集 承载 传输 发射
【权利要求书】:

1.一种扫描式激光诱导光谱面范围分析检测系统,其特征在于,包括调焦光学装置、反射镜、激光反射镜、收光装置以及激光发射头;其中,所述激光发射头与外置的激光诱导光源连接,外置的激光诱导光源产生激光,经所述激光发射头将激光发射,实现激光诱导等离子的发生;所述激光反射镜反射诱导激光,并且与所述调焦光学装置同轴;所述调焦光学装置将经所述激光反射镜反射的诱导激光汇聚到被测样品表面上;被测样品的宽光谱范围诱导等离子体散射光信号经所述调焦光学装置整形后,由所述反射镜采集汇聚到所述收光装置中,所述的收光装置将诱导等离子体散射光汇聚到光纤中,并传输给外置的光谱仪,该外置的光谱仪对等离子体形成的光谱进行分光,获得不同波长光谱强度数据;所述反射镜上有孔或者前部有空间来放置所述激光反射镜,实现激光反射镜反射的诱导激光与采集到的光谱信号光同轴。

2.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,还包括激光扫描控制器,所述激光扫描控制器控制所述激光反射镜的对准角度,实现入射诱导激光在不同位置的汇聚。

3.根据权利要求2所述的系统,其特征在于,所述调焦光学装置为透镜;所述调焦光学装置是1块透镜或者是一个透镜组。

4.根据权利要求3所述的系统,其特征在于,所述调焦光学装置包括透镜或者透镜组的基础之上,还包括中心有孔透镜;中心有孔透镜与透镜或者透镜组依次排列,并且中心有孔透镜诱导激光,实现对收集到的等离子体散射光汇聚到反射镜上。

5.根据权利要求4所述的系统,其特征在于,所述中心有孔透镜为1块,或者为一个中心有孔透镜组。

6.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述激光发射头包括至少1片的球面、非球面透镜,用来实现对激光诱导光源发射出的激光的发散角度,光斑尺寸和放射方向、偏振态的调整。

7.根据权利要求4所述的系统,其特征在于,包括盒体、透镜、中心有孔透镜、激光反射镜、激光扫描控制器、反射镜、收光装置以及激光发射头,被测样品为一块复杂成分的合金金属块;

其中,所述盒体直角三角形,在所述盒体的一个锐角端设置有一通孔,该通孔与被测样品对应,并且在该端盒体的内部依次安装有所述透镜、所述中心有孔透镜;在所述盒体的另一个锐角端设置有两个并列的通孔,两个并列通孔分别安装上所述收光装置和所述激光发射头;同时,在所述盒体的直角端设置有激光扫描控制器,以及与该激光扫描控制器连接的激光反射镜,激光反射镜安装在两端固定于所述盒体两个直接边内壁的所述发射镜上的孔中。

8.根据权利要求4所述的系统,其特征在于,包括盒体、调焦光学装置、激光反射镜、激光扫描控制器、反射镜、收光装置以及激光发射头;被测样品为复杂元素成分的溶液;

其中,所述盒体呈多边体,在所述盒体的一端角上设置有激光扫描控制器,以及与该激光扫描控制器连接的激光反射镜,激光反射镜安装在两端固定于盒体两端面的反射镜上的孔中;同时,在盒体的一端面上安装有调焦光学装置,该调焦光学装置内部依次安装有透镜、中心有孔透镜;而在盒体的另一端面上设置有两个并列的通孔,两个并列通孔分别安装上收光装置和激光发射头。

9.根据权利要求4所述的系统,其特征在于,包括盒体、调焦光学装置、激光反射镜、反射镜、收光装置以及激光发射头;被测样品为包含微量重金属元素,冲压制成的饼状土壤样品;

其中,所述盒体呈多边体,在盒体的一端面上设置有激光反射镜,且激光反射镜安装在固定于该端面的反射镜上的孔中;同时,在所述盒体的一端面上安装有调焦光学装置,该调焦光学装置内部依次安装有透镜、中心有孔透镜;而在所述盒体的另一端面上设置有两个并列的通孔,两个并列通孔分别安装上收光装置和激光发射头。

10.根据权利要求1至9任意一项所述的系统,其特征在于,所述反射镜是球面镜或者非球面镜,能够在光学上与所述收光装置匹配;所述激光反射镜镀有介质膜或金属膜,用来针对特定波长的诱导激光实现高效率反射。

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