[发明专利]一种双面对位的曝光机对位台有效
申请号: | 201610981587.8 | 申请日: | 2016-11-09 |
公开(公告)号: | CN106990675B | 公开(公告)日: | 2018-06-19 |
发明(设计)人: | 张惠光 | 申请(专利权)人: | 保定来福光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G03F9/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 071700 河北省保*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 台板 翻转 曝光机 吸附固定 对位台 对位 第一驱动装置 驱动 底座运动 第二装置 对位机构 台本发明 同步运动 下菲林 支撑架 靶点 底座 菲林 通孔 紧凑 替换 | ||
本发明公开了一种双面对位的曝光机对位台,包括底座、第一台板和第二台板,第一台板被第一驱动装置驱动相对于底座运动,第二台板被第二装置驱动相对于第一台板运动,也可以与第一台板一起同步运动,在第一台板上安有PCB板支撑架吸附固定件,在第二台板上安有下菲林框架吸附固定件。该对位台能够在不依赖通孔靶点、不翻转PCB板的情况下将PCB板分别与上下菲林进行对位,而且能够使体积更加紧凑,针对现有曝光机的有限空间直接替换原有对位机构,将原来需翻转PCB板进行的两次单面对位变成不翻转PCB板的双面对位。
技术领域
本发明涉及曝光机机械领域,具体而言涉及一种能够将PCB板上下两面分别与上菲林和下菲林对齐的曝光机对位台。
背景技术
曝光机是指通过开启紫外光装置,将菲林(印有电路相关信息的底片)上的图像信息转移到涂有感光物质的电路板(PCB板)上的设备,现已广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领。将菲林信息转移到PCB板上时需要将菲林与PCB板进行对位,对准后再进行曝光。现在有一块菲林与PCB板一侧面进行对位的单面对位模式,还有上下两块菲林与中间PCB板分别对位的双面对位模式。在双面对位模式中,利用PCB板上的通孔和上下菲林的通孔作为对位靶标进行对位,然而,这种选取通孔作为靶标的对位方法只适合PCB板上留有通孔的前期阶段,对后期经过防焊工艺后的PCB板,上面已经没有通孔,因而目前只能选取其上的圆片作为靶点进行单面对位,然后经过翻转再进行PCB板另一面的单面对位,这就造成操作环节多,工作效率低下。但是限于曝光机中给抬框留出的有限空间,且不论增加的成本,也很难采用在抬框的上下方设置两套对位台并分别对上菲林、下菲林和PCB板进行单面对位的模式来实现整体上的双面对位,因此,在不改变现有曝光机(针对防焊后PCB板曝光)的结构框架和利用现有抬框技术的基础上,研发新的对位台,实现在不翻转PCB板的情况下即能进行双面对位,是本领域极为期待解决的技术问题。
发明内容
本发明的目的是提供一种双面对位的曝光机对位台,该对位台能够在不依赖通孔靶点、不翻转PCB板的情况下将PCB板分别与上下菲林进行对位,而且能够使体积更加紧凑,针对现有曝光机的有限空间直接替换原有对位机构,将原来需翻转PCB板进行的两次单面对位变成不翻转PCB板的双面对位。
为实现上述目的,本发明采取以下技术方案:
一种双面对位的曝光机对位台,包括底座和第一台板,第一台板经第一转动件安装在第一滑动件上,第一滑动件安装在底座上,第一滑动件与第一驱动装置相连,第二台板经第二滑动件安装在第一台板上,第二台板经传动连接件与第二驱动装置相连,第二驱动装置与第一台板相固定,在第一台板上安有PCB板支撑架吸附固定件,在第二台板上安有下菲林框架吸附固定件。
优选的,所述第二滑动件包括上滚珠、下滚珠和连接梁,所述第二台板向下经上滚珠与第一台板相连,所述连接梁一侧与第二台板相连,并且向下穿过第一台板而使另一侧向上经下滚珠与第一台板相连。
优选的,所述连接梁为U形连接梁,并且在U形连接梁的底部向上连有连接柱,所述U形连接梁的两上端穿过所述第一台板与所述第二台板相连,所述连接柱的上端经所述下滚珠向上与第一台板相连。
优选的,所述传动连接件上端与所述第二台板相固定,下端穿过所述第一台板,所述第二驱动装置由第二电机和第二电机驱动的偏心轮组成,所述偏心轮与所述传动连接件的下端相接触,传动连接件下端经弹簧与第二电机的固定座相连。
优选的,所述传动连接件下端留有轴孔,轴孔内安有转轴,所述转轴的两端分别经所述弹簧与所述第二电机的固定座相连。
优选的,所述第二滑动件有四组,并分布于所述第二台板相对的两侧,所述传动连接件和第二驱动装置有三组,其中两组位于第二台板的一侧,并均驱动第二台板在水平横向运动,另外一组位于第二台板相对的另一侧并驱动第二台板在水平纵向运动。
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