[发明专利]无压力的臭氧化去离子水(DIO3)的再循环回收系统有效
| 申请号： | 201610982023.6 | 申请日： | 2013-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN106395954B | 公开（公告）日： | 2019-09-03 |
| 发明（设计）人： | J·H·塞沃特;U·A·布拉默;M·布拉查;G·J·施奈特 | 申请（专利权）人： | MKS仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | C02F1/20 | 分类号： | C02F1/20;B01D19/00;G03F7/42;H01L21/02;C02F1/78;C02F103/34 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 张兰英 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压力 臭氧 离子水 dio3 再循环 回收 系统 方法 | ||
【权利要求书】：
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