[发明专利]透明导电薄膜的制备方法及透明导电薄膜有效
| 申请号： | 201610984967.7 | 申请日： | 2016-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN106571174B | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 马志锋;江涛;巩燕龙;许结林;余俊佼 | 申请（专利权）人： | 宜昌南玻显示器件有限公司 |
| 主分类号： | H01B5/14 | 分类号： | H01B5/14;H01B1/08;H01B13/00;C23C14/08;C23C14/35;C23C14/58 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 徐春祺 |
| 地址： | 443000*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蚀刻 透明导电薄膜 氧化铟锡薄膜 氧化铟锡 磁控溅射沉积 反应气体 氧化铟 靶材 制备 氩氧混合气体 氧化铟锡层 氩气 氢气 衬底 内层 微晶 电路 体内 | ||
【说明书】：
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