[发明专利]一种基于表面反射像的微米级光电定心方法及装置在审
申请号: | 201610985236.4 | 申请日: | 2016-10-31 |
公开(公告)号: | CN106383396A | 公开(公告)日: | 2017-02-08 |
发明(设计)人: | 王虎;沈阳;樊学武;刘美莹;刘阳;刘杰;林上明;潘越 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G02B7/02 | 分类号: | G02B7/02 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司61211 | 代理人: | 汪海艳 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 表面 反射 微米 光电 定心 方法 装置 | ||
【说明书】:
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