[发明专利]压力控制器及其压力传感器、压力传感器的制作方法

权利要求书

1.一种压力传感器，包括基座部件，其特征在于，还包括内波纹管(1)和套设在所述内波纹管(1)外部的外波纹管(2)，所述内波纹管(1)和所述外波纹管(2)焊接在所述基座部件上，所述内波纹管(1)与所述基座部件形成感压腔(5)，所述内波纹管(1)与所述外波纹管(2)形成保护腔(6)，所述基座部件上设置有与所述感压腔(5)连通的流体进入通道(7)和与所述保护腔(6)连通的压力检测通道(8)，所述压力检测通道(8)由封堵件(9)封堵。

2.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述内波纹管(1)和所述外波纹管(2)均为一体式的杯状结构，所述内波纹管(1)和所述外波纹管(2)的开口端焊接在所述基座部件上。

3.根据权利要求1或2任一项所述的压力传感器，其特征在于，所述基座部件上设置有第一环形台阶部(11)和直径大于所述第一环形台阶部(11)的第二环形台阶部(12)，所述内波纹管(1)焊接在所述第一环形台阶部(11)上，所述外波纹管(2)焊接在所述第二环形台阶部(12)上。

4.根据权利要求3所述的压力传感器，其特征在于，所述内波纹管(1)和所述外波纹管(2)通过炉焊一次性焊接在所述基座部件上。

5.根据权利要求4所述的压力传感器，其特征在于，所述基座部件包括基座本体(3)和基座接头(4)，所述基座接头(4)与所述基座本体(3)通过炉焊焊接固定。

6.根据权利要求4所述的压力传感器，其特征在于，所述基座部件包括基座本体(3)和基座接头(4)，所述基座接头(4)、所述基座本体(3)、所述内波纹管(1)和所述外波纹管(2)通过炉焊一次性焊接固定。

7.根据权利要求3所述的压力传感器，其特征在于，所述第一环形台阶部(11)上设置有防止焊料溢流的第一溢流槽和/或，所述第二环形台阶部(12)上设置有防止焊料溢流的第二溢流槽。

8.根据权利要求3所述的压力传感器，其特征在于，所述压力检测通道(8)的一端设置于所述第一环形台阶部(11)与所述第二环形台阶部(12)之间的台阶面上。

9.根据权利要求8所述的压力传感器，其特征在于，在所述台阶面上，所述压力检测通道(8)与所述内波纹管(1)之间设置有防止焊料溢流的端面溢流槽(13)。

10.根据权利要求1或2任一项所述的压力传感器，其特征在于，所述封堵件为钢球，所述钢球过盈配合于所述压力检测通道(8)中，或所述钢球焊接在所述压力检测通道(8)中。

11.一种压力控制器，包括开关组件(20)和与所述开关组件(20)传动连接的压力组件(30)，所述压力组件(30)包括压力传感器，其特征在于，所述压力传感器为权利要求1－10任一项所述的压力传感器。

12.一种制作压力传感器的方法，其特征在于，包括如下步骤：

制作内波纹管(1)和外波纹管(2)；

制作带有流体进入通道(7)和压力检测通道(8)的基座部件；

将所述内波纹管(1)和所述外波纹管(2)焊接在所述基座部件上，并使所述内波纹管(1)与所述基座部件形成感压腔(5)，使所述内波纹管(1)与所述外波纹管(2)形成保护腔(6)；

通过所述压力检测通道(8)向所述保护腔(6)内充压力检测用介质，检测所述外波纹管(2)的焊接气密性；

用封堵件(9)封堵所述压力检测通道(8)。

13.根据权利要求12所述的制作压力传感器的方法，其特征在于，所述内波纹管(1)和所述外波纹管(2)通过炉焊一次性焊接在所述基座部件上。