[发明专利]一种立式太阳能硅片扩散炉有效
| 申请号： | 201610992437.7 | 申请日： | 2016-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN106435740B | 公开（公告）日： | 2018-10-30 |
| 发明（设计）人： | 高鹏;刘阳;徐晋勇;唐焱;张斌;孙宁;陈金龙;高成;刘栋;黄伟 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | C30B31/10 | 分类号： | C30B31/10;C30B31/16;C30B31/18;C30B31/14 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人： | 但玉梅 |
| 地址： | 541004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 立式 太阳能 硅片 扩散 | ||
【说明书】：
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