[发明专利]一种立式扩散炉专用叠加型石英舟有效
申请号: | 201610993859.6 | 申请日: | 2016-11-11 |
公开(公告)号: | CN106498501B | 公开(公告)日: | 2019-03-12 |
发明(设计)人: | 高鹏;刘阳;罗奕;张应红;孙宁;唐亮;高波;王岩 | 申请(专利权)人: | 桂林电子科技大学 |
主分类号: | C30B31/14 | 分类号: | C30B31/14;C30B29/06 |
代理公司: | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人: | 但玉梅 |
地址: | 541004 广西*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 立式 扩散 专用 叠加 石英 | ||
【权利要求书】:
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