[发明专利]一种改善波导侧壁的ICP刻蚀方法有效
| 申请号： | 201610995840.5 | 申请日： | 2016-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN106348246B | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 张巍;周杰;韩金涛;沈祥;赵阳;张森 | 申请（专利权）人： | 宁波大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 浙江素豪律师事务所 33248 | 代理人： | 徐芙姗 |
| 地址： | 315000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 改善 波导 侧壁 icp 刻蚀 方法 | ||
【权利要求书】：
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