[发明专利]特气管路、PECVD设备及硅片镀膜调整方法有效
| 申请号： | 201611003708.8 | 申请日： | 2016-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN106328477B | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 张晓朋;李翠双;陈志军;甄云云;刘少华;陈晨 | 申请（专利权）人： | 英利能源（中国）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 王荣君 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 管路 pecvd 设备 硅片 镀膜 调整 方法 | ||
【说明书】：
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