[发明专利]一种BN‑SiC复合颗粒及其制备方法在审
申请号: | 201611007390.0 | 申请日: | 2016-11-16 |
公开(公告)号: | CN106631165A | 公开(公告)日: | 2017-05-10 |
发明(设计)人: | 郭巧琴;李建平;郭永春;杨忠 | 申请(专利权)人: | 西安工业大学 |
主分类号: | C04B41/87 | 分类号: | C04B41/87 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所11569 | 代理人: | 王加贵 |
地址: | 710000 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 bn sic 复合 颗粒 及其 制备 方法 | ||
1.一种BN-SiC复合颗粒,包括SiC颗粒和包覆在所述SiC颗粒外的BN镀层,所述BN镀层的厚度为0.5~20μm。
2.根据权利要求1所述的BN-SiC复合颗粒,其特征在于,所述SiC颗粒的粒径为0.05~700μm。
3.根据权利要求1所述的BN-SiC复合颗粒,其特征在于,所述BN-SiC复合颗粒的粒径为0.6~720μm。
4.权利要求1或2所述复合颗粒的制备方法,其特征在于,采用磁控溅射法在SiC颗粒表面沉积BN镀层,得到BN-SiC复合颗粒。
5.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述磁控溅射法具体包括以下步骤:
(1)将SiC颗粒装入工装,对真空腔进行抽真空;
(2)向所述抽真空后的真空腔内充入惰性气体;
(3)将SiC颗粒加热至300~500℃;
(4)控制超声波振动频率为(0W,350W],样品台摆动频率为1~150次/分钟,在SiC颗粒表面磁控溅射沉积BN镀层,得到BN-SiC复合颗粒。
6.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(1)中真空腔抽真空后的真空度为4×10-4~4×10-3Pa。
7.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)中充入惰性气体至真空腔内气压为0.1~15Pa。
8.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(4)中磁控溅射的功率为100~250W。
9.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(4)中磁控溅射的时间为2~6h。
10.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述磁控溅射沉积BN镀层后还包括:将BN-SiC复合颗粒保温20~60min。
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