[发明专利]层叠电感器

说明书

本发明提供一种层叠电感器，其不降低磁特性和绝缘特性地实现薄型化。层叠电感器包括第一磁性层、内部导体、第二磁性层、第三磁性层和一对外部电极。第一磁性层沿一个轴方向的厚度为4μm以上19μm以下，包括：沿一个轴方向排列的3个以上的合金磁性颗粒；和使合金磁性颗粒相互结合且包含Cr的氧化膜。内部导体隔着第一磁性层在一个轴方向上相对配置，分别构成绕一个轴卷绕的线圈的一部分，具有隔着第一磁性层相互电连接的多个导体图案。第二磁性层由合金磁性颗粒构成，隔着第一磁性层在一个轴方向上相对并分别配置在导体图案的周围。第三磁性层由合金磁性颗粒构成，隔着第一磁性层、第二磁性层和内部导体在一个轴方向上相对配置。

技术领域

本发明涉及具有由合金磁性颗粒构成的磁性体部的层叠电感器。

背景技术

因便携设备的多功能化和汽车的电子化等，被称为芯片型的小型的线圈部件或电感部件得到广泛使用。尤其是，层叠型的电感部件(层叠电感器)能够应对薄型化，因此，近年来，正在向流通大电流的功率器件的开发推进。

为了应对大电流化，正在研讨将层叠电感器的磁性体部替换为材料自身的饱和磁通密度比现有的NiCuZn类铁氧体高的FeCrSi合金。但是，由于FeCrSi合金的材料自身的体积电阻率比现有的铁氧体低，因此，需要下功夫提高其体积电阻率。

所以，在专利文献1中公开了在包含Fe、Cr、Si的磁性合金的粉末中添加以SiO₂、B₂O₃、ZnO为主成分的玻璃，在非氧化气氛中(700℃)进行烧制的电子部件的制造方法。根据该方法，不提高形成在成形体内的线圈的电阻，就能够提高成形体的绝缘电阻。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-62424号公报

发明内容

发明想要解决的技术问题

但是，在专利文献1记载的方法中，通过添加在磁性合金粉末中的玻璃提高磁性体部的体积电阻率，因此，为了获得磁性体部的所期望的绝缘电阻，需要增加玻璃的添加量。其结果是，磁性合金粉末的充填率降低，因此难以获得高电感特性，而且，越进行薄型化，这样的问题越显著。

另外，至今为止，形成磁性体部的磁性合金粉末大多着眼于提高导磁率，在不成为其他的特性限制的范围内使用尽可能大的粒径的磁性合金粉末。但是，在使用大粒径的情况下，由于粒径而表面粗糙度容易变大，所以，根据粒径增厚层叠的厚度，例如以10μm的粒径有6个以上的颗粒、6μm的粒径有5个以上的颗粒在层叠方向上排列的方式改变了层叠的厚度。这是因为，如上所述使用小粒径的磁性合金粉末，不产生导磁率的降低。

鉴于以上的情况，本发明的目的在于提供一种能够不降低磁特性和绝缘特性而能够实现薄型化的层叠电感器。

用于解决技术问题的技术方案

为了达成上述目的，本发明的一个方式的层叠电感器包括至少一个第一磁性层、内部导体、多个第二磁性层、多个第三磁性层和一对外部电极。上述至少一个第一磁性层，其沿一个轴方向的厚度为4μm以上19μm以下，包括：沿所述一个轴方向排列的3个以上的合金磁性颗粒；和使所述合金磁性颗粒相互结合且包含由Cr和Al的至少一种形成的第一成分的第一氧化膜。

上述内部导体具有多个导体图案。上述多个导体图案隔着上述第一磁性层在上述一个轴方向上相对配置，分别构成绕上述一个轴卷绕的线圈的一部分，隔着上述第一磁性层相互被电连接。

上述多个第二磁性层由合金磁性颗粒构成，隔着上述第一磁性层在上述一个轴方向上相对并且分别配置在上述多个导体图案的周围。

上述多个第三磁性层由合金磁性颗粒构成，隔着上述第一磁性层、上述多个第二磁性层和上述内部导体在上述一个轴方向上相对配置。