[发明专利]一种板条激光晶体的双面封装方法有效
申请号: | 201611007736.7 | 申请日: | 2016-11-16 |
公开(公告)号: | CN106654820B | 公开(公告)日: | 2019-03-22 |
发明(设计)人: | 陈露;刘磊;梁兴波;唐晓军;王超;刘洋;王文涛;吕坤鹏 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十一研究所 |
主分类号: | H01S3/042 | 分类号: | H01S3/042;H01S3/16 |
代理公司: | 工业和信息化部电子专利中心 11010 | 代理人: | 于金平 |
地址: | 100015*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 板条 激光 晶体 双面 封装 方法 | ||
1.一种板条激光晶体的双面封装方法,其特征在于,包括以下步骤:
自下至上依次放置焊接面向上的上热沉、金锡焊片、金锡焊柱、板条激光晶体,组成第一焊接体;其中,所述金锡焊片的尺寸小于板条激光晶体的表面尺寸,在所述金锡焊片的边缘紧贴金锡焊片放置有第一厚度控制薄片,第一厚度控制薄片的厚度小于金锡焊片的厚度;
将第一焊接体在设定的真空度、设定的焊接温度下保温设定时间后冷却至室温,得到半成品;
自下至上依次放置焊接面向上的下热沉、铟柱、所述半成品,组成第二焊接体;其中,所述半成品的板条激光晶体的一侧朝下,所述下热沉的焊接面镀有铟层,所述铟层边缘放置有第二厚度控制薄片;
将第二焊接体在设定的真空度、设定的焊接温度下保温设定时间后冷却至室温,即得。
2.如权利要求1所述的板条激光晶体的双面封装方法,其特征在于,在自下至上依次放置焊接面向上的上热沉、金锡焊片、金锡焊柱、板条激光晶体,组成第一焊接体之前还包括:
在板条激光晶体的表面镀上光学膜和金属膜;
在上、下热沉的焊接面镀上金膜。
3.如权利要求1~2任一项所述的板条激光晶体的双面封装方法,其特征在于,所述金锡焊片的厚度为20~150μm,所述第一厚度控制薄片为厚度为15~100μm的铝合金薄片;所述金锡焊柱的高度为50~200μm。
4.如权利要求1~2任一项所述的板条激光晶体的双面封装方法,其特征在于,所述第二厚度控制薄片均为厚度为15~100μm的铝合金薄片;所述铟柱的高度为50~200μm。
5.如权利要求1~2任一项所述的板条激光晶体的双面封装方法,其特征在于,将第一焊接体在设定的真空度、设定的焊接温度下保温设定时间后冷却至室温,得到半成品具体包括以下步骤:
将第一焊接体在真空度为6×10-3~8×10-4Pa、温度为320~380℃的条件下保温5~10分钟后冷却至室温,得到半成品。
6.如权利要求1~2任一项所述的板条激光晶体的双面封装方法,其特征在于,将第二焊接体在设定的真空度、设定的焊接温度下保温设定时间后冷却至室温具体包括以下步骤:
将第二焊接体在真空度为6×10-3~8×10-4Pa、温度为180~230℃的条件下保温5~10分钟后冷却至室温。
7.如权利要求2所述的板条激光晶体的双面封装方法,其特征在于,所述光学膜为厚度2~5μm的二氧化硅膜;所述金属膜为钛铂金膜,其中钛膜厚度为100~300nm,铂膜厚度为100~300nm,金膜厚度为300~800nm;所述热沉的金膜厚度为300~500nm。
8.如权利要求1所述的板条激光晶体的双面封装方法,其特征在于,所述铟层的厚度为20~150μm。
9.如权利要求1~2任一项所述的板条激光晶体的双面封装方法,其特征在于,所述在金锡焊片与板条激光晶体之间的金锡焊柱至少为3个;所述在上热沉的焊接面与半成品之间的铟柱至少为3个。
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