[发明专利]振动装置、振动装置的制造方法、电子设备以及移动体

说明书

技术领域

本发明涉及一种振动装置、振动装置的制造方法、电子设备以及移动体。

背景技术

一直以来，作为振动装置的一个示例而已知一种具有振动臂部(振动臂、检测臂)的惯性传感器元件(例如，参照专利文献1)。例如，在专利文献1所公开的惯性传感器元件中，具有：两个电极，其在连接该振动臂部的表背面(主面)的侧面的同一侧面上，沿着该振动臂部的延伸的方向而延伸；电极，其在贯穿该振动臂部的表背面而设置的贯穿孔的各个内侧面上以被分割成两个的方式而设置。在该振动臂部中，在贯穿孔的各个内侧面上各设置有两个从而设置有共计四个的电极中的被配置在对角的位置处的电极彼此电连接(导通)。并且，被配置在对角的位置处的电极彼此的电连接(导通)通过将各自的电极引出至表背面的配线而被实施。

但是，在专利文献1所公开的惯性传感器元件中，需要向因设置有贯穿孔等而变窄的表背面(主面)引出使被配置在贯穿孔的内侧面的对角的位置处的电极彼此导通的配线。由于以此方式而在表背面的狭窄的区域内设置配线，因此存在如下可能性，即，配线的宽度变窄而容易产生断线等不良情况，或者产生被设置在表背面上的配线在频率调节等时被切断等不良情况。

专利文献1：日本特开2006-208261号公报

发明内容

本发明是为了解决上述的课题中的至少一部分而完成的发明，并能够作为以下的方式或应用例而实现。

应用例1

本应用例所涉及的振动装置的特征在于，具有第一振动臂，所述第一振动臂具备：表面以及背面；贯穿孔，其贯穿所述表面以及所述背面；壁部，其隔着所述贯穿孔而位于两侧，所述壁部具备两个电极，该两个电极分别被配置在位于所述贯穿孔的所述壁部侧的两个内侧面上，并被施加相互不同的电位，且沿着所述表面以及所述背面而并排延伸，各个所述电极中的位于一个所述内侧面的所述表面侧的第一电极和位于另一个所述内侧面的所述背面侧的第二电极通过第一配线而被短路，所述第一配线被配置在对两个所述内侧面进行连接的一个端侧面上。

根据本应用例，将位于一个内侧面的表面侧的第一电极和位于另一个内侧面的背面侧的第二电极短路的第一配线被配置在对两个内侧面进行连接的一个端侧面。根据这样的第一配线的配置，无需在表背面的狭窄的区域内设置相当于第一配线的配线，从而能够扩宽对两个内侧面进行连接的配线(第一配线)的宽度。此外，由于将配线设置在处于贯穿孔的内部的端侧面上，因此，与表背面相比，不易受到频率调节等时所使用的例如激光等的照射。由此，能够对配线被切断等不良情况的发生进行抑制。

应用例2

在上述应用例所述的振动装置中，优选为，所述电极具备第二配线，所述第二配线将位于所述一个所述内侧面的所述表面侧的第三电极和位于所述另一个所述内侧面的所述背面侧的第四电极短路，所述第二配线被配置在对两个所述内侧面进行连接的另一个端侧面上。

根据本应用例，将位于一个内侧面的表面侧的第三电极和位于另一个内侧面的背面侧的第四电极短路的第二配线被配置在对两个内侧面进行连接的另一个端侧面上。根据这样的第二配线的配置，无需在表背面的狭窄的区域内设置相当于第二配线的配线，从而能够扩宽对两个内侧面进行连接的配线(第二配线)的宽度。此外，由于将配线设置在处于贯穿孔的内部的端侧面上，因此，与表背面相比，不易受到频率调节等时所使用的例如激光等的照射。由此，能够对配线被切断等不良情况的发生进行抑制。

应用例3

在上述应用例所述的振动装置中，优选为，所述端侧面的宽度具有与两个所述内侧面之间的宽度相比较窄的部分。

根据本应用例，能够从规定两个内侧面之间的宽度的方向即第一振动臂的宽度方向容易地目视确认端侧面，从而能够容易地实施第一配线以及第二配线的形成状态的确认。

另外，本说明书中的端侧面的宽度是指，两个内侧面并排的方向上的端侧面的尺寸，内侧面之间的宽度是指，两个内侧面并排的方向上的两个侧面之间的尺寸。

应用例4

在上述应用例所述的振动装置中，优选为，具有基部和从所述基部延伸出的第二振动臂，所述第一振动臂从所述基部起向与所述第二振动臂的延伸方向相反的方向延伸。