[发明专利]聚焦环及其工作方法有效
| 申请号： | 201611012477.7 | 申请日： | 2016-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN108070833B | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;刘霞 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;H01J37/32 |
| 代理公司： | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐文欣;吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 环体 柱面 聚焦环 第二面 开口 封闭环形 投影 电位 电磁场分布 电流产生 开口侧壁 投影图形 柱面母线 面延伸 母线 薄膜 平行 垂直 施加 贯穿 | ||
1.一种聚焦环，其特征在于，包括：
环体，所述环体包括相对的第一面和第二面、以及位于第一面和第二面之间的第一柱面和第二柱面，且所述第一柱面和第二柱面的两侧分别与第一面和第二面连接，所述第一柱面和第二柱面的母线平行；
位于所述环体中的开口，所述开口自第一面延伸至第二面，且所述开口自第一柱面贯穿至第二柱面；
所述环体在垂直于所述第一柱面或第二柱面母线的平面内具有环体投影图形，且所述环体投影为封闭环形。
2.如权利要求1所述的聚焦环，其特征在于，所述环体还包括：位于所述开口侧壁的第一端面和第二端面。
3.如权利要求2所述的聚焦环，其特征在于，所述第一端面和第二端面为平面，所述第一端面与所述第一柱面母线具有第一锐角夹角，所述第二端面与所述第一柱面母线具有第二锐角夹角。
4.如权利要求3所述的聚焦环，其特征在于，所述第一端面与所述第二端面平行。
5.如权利要求4所述的聚焦环，其特征在于，所述第一锐角夹角为60°～70°，所述第二锐角夹角为60°～70°。
6.如权利要求4所述的聚焦环，其特征在于，所述第一端面和第二端面之间的距离为5.7mm～7mm。
7.如权利要求2所述的聚焦环，其特征在于，所述第一端面和第二端面为圆柱面，所述第一端面与所述第一柱面的交线平行于所述第一端面的母线，所述第二端面与所述第一柱面的交线平行于第二端面的母线。
8.如权利要求2所述的聚焦环，其特征在于，所述第一端面具有凹槽；所述第二端面具有凸出部。
9.如权利要求8所述的聚焦环，其特征在于，所述凹槽侧壁表面为圆柱面，所述凹槽侧壁的母线垂直于所述第一柱面母线；所述凸出部表面为圆柱面，所述凸出部侧壁表面的母线垂直于所述第一柱面母线。
10.如权利要求8所述的聚焦环，其特征在于，所述凸出部包括：相互连接的第一侧面和第二侧面；所述凹槽侧壁包括：相互连接的第三侧面和第四侧面。
11.如权利要求10所述的聚焦环，其特征在于，所述第一侧面、第二侧面、第三侧面和第四侧面为平面；
所述第一侧面与所述第三侧面平行；所述第二侧面与所述第四侧面平行。
12.如权利要求1所述的聚焦环，其特征在于，所述环体沿所述第一柱面母线方向上的尺寸为45mm～55mm。
13.如权利要求1所述的聚焦环，其特征在于，所述环体为圆环体，所述环体的外径为260mm～300mm；所述环体的内径为200mm～240mm。
14.如权利要求1所述的聚焦环，其特征在于，所述环体的材料为钽或钛。
15.如权利要求1所述的聚焦环，其特征在于，所述第一柱面和第二柱面的中心轴重合，且所述第一柱面到所述中心的轴距离大于所述第二柱面到所述中心轴的距离。
16.如权利要求15所述的聚焦环，其特征在于，所述第二柱面表面具有花纹。
17.如权利要求15所述的聚焦环，其特征在于，所述聚焦环还包括：位于所述环体第一柱面表面的凸台。
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