[发明专利]20MHz集成式石英力敏谐振器

权利要求书

1.一种20MHz集成式石英力敏谐振器，涉及这种20MHz集成式石英力敏谐振器的设计、结构及制作，其特点是在同一薄圆形石英晶体基片上，集成多对大小和形状相同的独立电极，每对独立电极构成一个独立谐振器，各个独立的谐振器其振荡基频为20MHz±5kHz。

2.权利要求1所述的20MHz集成式石英力敏谐振器，各个独立谐振器由两个对称电极及电极间的石英晶体构成，电极为圆形，通过电极过渡引线及电极外接引线与激励电路连接。

3.权利要求1所述的20MHz集成式石英力敏谐振器，其晶体基片为圆形，在圆形基片的中心设置一个谐振器，这个谐振器的电极中心与基片中心重合，其余各个谐振器的电极中心均匀地分布在同一圆周上，圆周中心与基片中心重合。

4.权利要求1所述的各个独立谐振器的电极的可以是金(Au)、铂(Pt)、银(Ag)、铜(Cu)、铝(Al)等导电性能良好的金属材料。

5.权利要求1所述的各个独立谐振器分别与自己的激励电路连接时，能同时独立谐振，互不干扰，基频为20MHz±5kHz范围。

6.权利要求1所述的20MHz集成式石英力敏谐振器，电极及电极过渡引线可用溅射、蒸镀等方法一次沉积完成。

7.权利要求1所述的20MHz集成式石英力敏谐振器，其石英晶体基片的厚度约为0.08mm，基片的直径为14mm。

8.权利要求1所述的20MHz集成式石英力敏谐振器，其石英晶体基片的表面为抛光镜面。

9.权利要求1所述的20MHz集成式石英力敏谐振器，其石英晶体基片的外边沿为劈型平倒结构。