[发明专利]测量表面形貌检测多层薄膜层间内部缺陷的方法

权利要求书

1.一种测量表面形貌检测多层薄膜层间内部缺陷的方法，其特征在于所述方法步骤如下：

一、将被检测件放置在低温加热平台上，表面形貌检测装置位于被检测件上方，记录被检测件在低温加热平台的放置位置；

二、调节表面形貌检测装置的各项参数并记录，以此作为参考参数对被检测件进行检测；

三、设置低温加热平台为室温，测量被检测件的表面形貌并记录；

四、设置低温加热平台恒温加热，测量被检测件的表面形貌并记录，试验后关闭低温加热平台使之冷却到室温；

五、对被检测件进行老化、热循环或者机械循环测试规定的时间或次数；

六、将测试后的被检测件放置在步骤一记录的放置位置上；

七、设置低温加热平台为室温，对被检测件进行检测并记录；

八、设置低温加热平台恒温加热温度与步骤四的温度相同，对被检测件进行检测并记录；

九、根据步骤三、步骤四、步骤七、步骤八中四次检测的表面形貌变形区别，利用计算机进行计算，判断是否有缺陷产生及缺陷产生的位置；

十、重复步骤三～九，直至完成老化测试。

2.根据权利要求1所述的测量表面形貌检测多层薄膜层间内部缺陷的方法，其特征在于所述低温加热平台的温控精度在0.1℃，温度加热速率1℃/s，工作温度在40~50℃。

3.根据权利要求1所述的测量表面形貌检测多层薄膜层间内部缺陷的方法，其特征在于所述步骤三、四、七和八进行过程中，在表面形貌检测装置和被检测件之间放置透明绝热板。

4.根据权利要求1所述的测量表面形貌检测多层薄膜层间内部缺陷的方法，其特征在于所述步骤四和八进行过程中，低温加热平台为持续恒温加热或脉冲激励加热。

5.根据权利要求1所述的测量表面形貌检测多层薄膜层间内部缺陷的方法，其特征在于所述被检测件具有双层及双层以上薄膜。