[发明专利]弹性波组件及其复合基板在审
| 申请号： | 201611021062.6 | 申请日： | 2016-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN108075742A | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | 王兴民;李瑞评 | 申请（专利权）人： | 兆远科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/54;H03H9/64 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 中国台湾新竹科学工*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 复合基板 压电基板 硅基板 负电极结构 正电极结构 接合 弹性波 体声波 电荷累积 表面处 片电阻 邻近 干涉 | ||
1.一种弹性波组件的复合基板，其特征在于，包含有：
一硅基板，具有一表面，该表面的片电阻为10000ohm/square以上；以及
一压电基板，结合于该硅基板的该表面。
2.如权利要求1所述的弹性波组件的复合基板，其特征在于，其中该硅基板的片电阻为25000ohm/square以上。
3.如权利要求1所述的弹性波组件的复合基板，其特征在于，其中该硅基板具有至少一掺杂物，该掺杂物的掺杂浓度为10
4.如权利要求3所述的弹性波组件的复合基板，其特征在于，其中该硅基板的掺杂物包括磷、硼、砷的其中之一，其中，磷的掺杂浓度为10
5.一种弹性波组件，其特征在于，包含有：
一硅基板，具有一表面，该表面的片电阻为10000ohm/square以上；
一压电基板，具有一上表面与一下表面，该下表面结合于该硅基板的该表面；以及
一正电极结构与一负电极结构，设置于该上表面。
6.如权利要求5所述的弹性波组件，其特征在于，其中该硅基板的表面的片电阻为25000ohm/square以上。
7.如权利要求5所述的弹性波组件，其特征在于，其中该硅基板具有至少一种掺杂物，该掺杂物的掺杂浓度为10
8.如权利要求7所述的弹性波组件，其特征在于，其中该硅基板的掺杂物包括磷、硼、砷的其中之一，其中，磷的掺杂浓度为10
9.如权利要求5所述的弹性波组件，其特征在于，其中该弹性波组件为弹性表面波滤波器或共振器。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于兆远科技股份有限公司，未经兆远科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201611021062.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：压电振动元件的制造方法
- 下一篇：具有杂散谐振抑制的膜体声谐振器
