[发明专利]离心级联整区段吹洗方法

权利要求书

1.一种离心级联整区段吹洗方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)选择孔板直径

流量孔板直径计算公式：

Q_m＝k_kPd² (1)

其中Q_m为工作气体的质量流量；k_k为孔板系数，该系数与工作气体的性质及温度有关；P为流量孔板前压力；d为流量孔板直径；

理想气体状态方程：

PV＝nRT＝mRT/M (2)

设定一定空间气体压力变化量ΔP和质量变化量Δm满足(3)式：

ΔP·V＝(Δm·RT)/M (3)

两边同除以Δt，得到气体压力变化率ΔP/Δt和质量变化率Δm/Δt的关系满足(4)式：

ΔP·V/Δt＝(Δm·RT)/(Δt·M) (4)

即：

Δm/Δt＝(MV·ΔP)/(RT·Δt) (5)

质量变化率满足(6)式：

Δm/Δt＝Q_m＝k_kPd² (6)

即：

k_kPd²＝(MV·ΔP)/(RT·Δt) (7)

从(7)式得到关系(8)：

吹洗单元为1-2个截断组时，截断组流量孔板直径d_截断组＝7×10^-3m，当一个区段有8个截断组时，以区段作为吹洗单元，区段流量孔板直径d_区段为(9)式：

2)对区段进行破空吹洗

将液氮蒸发器(1)中的氮气通过流量孔板(3)，经区段供料干管(2)逐级提高压力供入区段离心机(7)内；

当区段供料干管(2)内的压力分别达到5mmHg、10mmHg、20mmHg、50mmHg、100mmHg、200mmHg、标准大气压力时，关闭氮气供气阀停止供气，此时若压力无明显改变则打开氮气供气阀继续供气，若压力有明显改变则管路中有漏点，找漏修补至压力无明显改变后打开氮气供气阀继续供气；

3)对区段进行抽空

将步骤2)中区段离心机(7)内的气体通过区段供料干管(2)抽至凝冻器(4)中进行冷凝净化，再将冷凝净化后的气体通过区段贫料干管(5)抽至区段抽空干管(6)中，最后经区段抽空干管(6)进入到抽空装置(8)；

4)重复进行区段破空吹洗和抽空

依次重复步骤2)和步骤3)N次，N≥4，然后关闭区段中所有离心机的隔膜阀，此时所有离心机处于充氮封存状态，完成离心级联整区段的吹洗。

2.如权利要求1所述的一种离心级联整区段吹洗方法，其特征在于：步骤1)中，选择流量孔板直径的取值范围为14-19.8mm。

3.如权利要求2所述的一种离心级联整区段吹洗方法，其特征在于：选择直径为17mm的流量孔板进行区段的吹洗工作。

4.如权利要求1所述的一种离心级联整区段吹洗方法，其特征在于：工作气体为UF₆，在温度T＝20℃的条件下，k_k＝7.789×10^-2g/s·mmHg·cm²。