[发明专利]基于伪测量值法的薄层硅片电阻率检测方法及系统在审
| 申请号： | 201611027457.7 | 申请日： | 2016-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN106370932A | 公开（公告）日： | 2017-02-01 |
| 发明（设计）人： | 刘新福;吴鹏飞;张剑军 | 申请（专利权）人： | 河北工业大学 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02 |
| 代理公司： | 天津翰林知识产权代理事务所(普通合伙)12210 | 代理人： | 李济群,付长杰 |
| 地址： | 300130 天津市红桥区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 测量 薄层 硅片 电阻率 检测 方法 系统 | ||
【说明书】：
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