[发明专利]一种WAT阈值电压测试方法及系统

权利要求书

1.一种WAT阈值电压测试方法，包括如下步骤：

步骤一，对源漏极电压分别增加以及减少一个大小为ΔV的小电压，分别得到两个漏极电流Id1与Id2；

步骤二，根据得到的漏极电流确定该源漏极电压与漏极电流曲线的斜率；

步骤三，根据获得的斜率及量测的漏极电流，确定器件的工作状态，根据器件的工作状态采用相应的方法进行阈值电压测试，确定器件的工作状态的具体方法包括：如果量测的漏极电流大于或等于一预设阈值，无论斜率K为何值，则认为器件工作在击穿区；若量测的漏极电流小于该预设阈值，且K大于等于一预设值，则认为器件工作在线性区；若量测的漏极电流小于该预设阈值，且K小于该预设值，则认为该器件工作在饱和区。

2.如权利要求1所述的一种WAT阈值电压测试方法，其特征在于：于步骤二中，根据公式K＝(Id2-Id1)/2*ΔV确定该斜率。

3.如权利要求2所述的一种WAT阈值电压测试方法，其特征在于：于步骤三中，如果器件工作在击穿区，则终止测试，测试值显示为错误码。

4.如权利要求3所述的一种WAT阈值电压测试方法，其特征在于：若器件工作在线性区，则阈值电压后续测试按照线性区算法进行计算。

5.如权利要求4所述的一种WAT阈值电压测试方法，其特征在于：若器件工作在饱和区，则阈值电压后续测试按照饱和区算法进行计算。

6.如权利要求1所述的一种WAT阈值电压测试方法，其特征在于：该预设阈值为1E-5A，该预设值为0.1。

7.一种WAT阈值电压测试系统，包括：

器件工作状态判断模块，通过对源漏极电压分别增加以及减少一个大小为ΔV的小电压，分别得到两个漏极电流Id1与Id2，然后根据得到的漏极电流确定源漏极电压与漏极电流曲线的斜率，并根据获得的斜率及量测的漏极电流，确定器件的工作状态，确定器件的工作状态的具体方法包括：

该器件工作状态判断模块判断量测的漏极电流是否小于预设阈值，若量测的漏极电流小于该预设阈值，则进一步判断斜率K值是否大于等于一预设值，如果K大于等于该预设值，则认为器件工作在线性区，如果K小于该预设值，则认为器件工作在饱和区；若该器件工作状态判断模块判断量测的漏极电流大于等于该预设阈值，则认为器件工作在击穿区；

测试执行模块，根据确定的器件的工作状态，执行相应的测试方法，实现WAT阈值电压测试。

8.如权利要求7所述的一种WAT阈值电压测试系统，其特征在于：该器件工作状态判断模块利用公式K＝(Id2-Id1)/2*ΔV确定该源漏极电压与漏极电流曲线的斜率。

9.如权利要求8所述的一种WAT阈值电压测试系统，其特征在于：若该器件工作状态判断模块认为器件工作在线性区，则该测试执行模块按照线性区算法计算阈值电压，如果该器件工作状态判断模块认为器件工作在饱和区，则该测试执行模块按照饱和区算法计算阈值电压；若该器件工作状态判断模块认为器件工作在击穿区，则终止测试，测试值显示为错误码。