[发明专利]彩色抗蚀剂剥离液组合物

说明书

本发明涉及一种彩色抗蚀剂剥离液组合物，更详细而言，涉及一种包含无机碱或其盐化合物、包含羟基的季铵盐化合物、化学式1所表示的胺化合物、极性有机溶剂和水的彩色抗蚀剂剥离液组合物。下述化学式1中，n为1～3的整数；R₁为C1～C4的直链或支链烷基；R₂为氢或甲基。化学式1

技术领域

本发明涉及一种抗蚀剂剥离液组合物，更详细而言，涉及一种能够有效去除因蚀刻而变形的抗蚀剂图案的彩色抗蚀剂剥离液组合物。

背景技术

滤色片(color filter)可通过安装于互补金属氧化物半导体(complementarymetal oxide semiconductor，CMOS)或电荷耦合元件(charge coupled device，CCD)等图像传感器的彩色摄影装置内来用于实际获得彩色图像。而且，除此之外，广泛用于摄影元件、等离子体显示器面板(PDP)、液晶显示装置(LCD)、场发射显示器(FED)和发光显示器(LED)等中，其应用范围正在迅速扩大。特别是，近年来，LCD的用途进一步扩大，因此认为在再现LCD的色彩方面滤色片是最重要的构件之一。

滤色片基板一般由红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)图案和起到用于阻断各像素之间的漏光并提高对比的作用的黑矩阵、以及对液晶盒施加电压的共用电极构成。

在这样的滤色片制造工序中，会不可避免地发生彩色抗蚀剂图案的不良。然而，构成彩色抗蚀剂的树脂一旦固化，仅通过将错误的部分去除而进行修理是几乎不可能的，并且由于几乎没有能够将彩色抗蚀剂去除的溶剂，因此对于产生了不良的滤色片，无法进行修理等重新加工，大部分会被废弃处理，因而存在生产性降低的问题。

另一方面，抗蚀剂大体可分为正型抗蚀剂和负型抗蚀剂。与去除相对容易而可被以有机溶剂为基础的剥离剂在40～50℃的温度条件下在1分钟内去除的正型抗蚀剂不同，彩色抗蚀剂具有固化度高、热处理后变硬、难以剥离去除的负型抗蚀剂的特性。因此，为了去除彩色抗蚀剂，在70℃以上的温度条件下需要5分钟以上的时间，因此需要更强的剥离性能。此外，需要即使在高温条件下，也维持剥离性能，长时间使用时，挥发性也低的特性。

为了解决该问题，开发了用于去除固化的彩色抗蚀剂的组合物。关于强剥离性能，可通过增加如氢氧化钾(KOH)或四甲基氢氧化铵(TMAH)一样的强碱性化合物的含量来满足，但随之会带来铜的腐蚀问题，并且难以抑制由高温、经时引起的挥发。

韩国注册专利第10-0429920号中使用了N-取代的苯并三唑作为防腐蚀剂，但上述苯并三唑由于是酸性化合物，因此在过量使用时，存在因通过酸碱中和反应去除碱性物质的副反应而洗涤性降低的问题。

现有技术文献

专利文献

韩国注册专利第10-0429920号

发明内容

所要解决的课题

本发明是为了解决上述以往技术问题而提出的，其目的在于，提供一种在固化的彩色抗蚀剂剥离时不引起配线的腐蚀，并且具有优异的剥离洗涤性的抗蚀剂剥离液组合物。此外，其目的在于，通过提供高温、经时的挥发抑制性优异而在长时间的工序中挥发性也低、剥离性能优异的彩色抗蚀剂剥离液，从而能够实现滤色片再利用。

解决课题的方法

为了实现上述目的，本发明提供一种彩色抗蚀剂剥离液组合物，其包含：

(A)无机碱或其盐化合物、

(B)包含羟基的季铵盐化合物、

(C)下述化学式1所表示的胺化合物、

(D)极性有机溶剂、和

(E)水。

化学式1