[发明专利]具有连续侧墙的半导体设置及其制造方法有效
| 申请号： | 201611033447.4 | 申请日： | 2016-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN106409913B | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 朱慧珑;张严波;钟汇才 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L21/336;H01L29/423;H01L21/28 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 倪斌 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 连续 半导体 设置 及其 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
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