[发明专利]基板保持装置、涂布装置、基板保持方法

权利要求书

1.一种基板保持装置，其特征在于包括：

载置台，将基板载置于载置面；

位置调整机构，通过使能够在与所述载置面上的所述基板的周缘抵接的抵接位置及与所述载置面上的所述基板的周缘隔开的隔开位置之间移动的位置调整构件，以在所述载置面载置有所述基板的状态自所述隔开位置向所述抵接位置移动而执行对所述载置面上的所述基板的位置进行调整的位置调整处理；

按压机构，选择性地使按压构件位于正式按压位置及暂时按压位置，所述正式按压位置通过将所述载置面上的所述基板按压至所述载置面而使所述基板的形状遵循所述载置面的形状，所述暂时按压位置较所述正式按压位置更远离所述载置面且与所述载置面上的所述基板对向；以及

控制部，一边使所述位置调整构件位于所述隔开位置一边使所述按压构件朝向所述载置面上的所述基板移动，并在位于所述暂时按压位置后，使所述位置调整机构执行所述位置调整处理，在所述位置调整处理结束后使所述按压构件移动至所述正式按压位置。

2.根据权利要求1所述的基板保持装置，还包括：

气体吹出机构，自所述载置面上开口的气孔向所述载置面上的所述基板吹出气体，且

所述控制部一边使所述气体吹出机构向所述基板吹出气体一边使所述位置调整机构执行所述位置调整处理。

3.根据权利要求1或2所述的基板保持装置，其中

所述位置调整机构通过使以包围所述载置面上的所述基板的方式配置的多个所述位置调整构件，自针对各所述位置调整构件而设置的所述隔开位置向所述抵接位置移动，而执行所述位置调整处理。

4.根据权利要求1或2所述的基板保持装置，还包括：

吸附机构，通过自在所述载置面开口的吸附孔吸入气体而将所述载置面上的所述基板吸附于所述载置面，且

所述控制部在使所述按压构件移动至所述正式按压位置后，使所述基板吸附于所述吸附机构。

5.根据权利要求1或2所述的基板保持装置，其中

所述按压机构利用所述按压构件以所述基板的周长的三分之二以上的范围对所述基板的周缘部进行按压。

6.根据权利要求1或2所述的基板保持装置，其中

所述按压构件以其接触平面与所述载置面上的所述基板接触，

所述位置调整构件以自所述载置面突出的方式设置，且

使位于所述暂时按压位置的所述按压构件的接触面位于自所述位置调整构件的所述载置面突出的前端与所述载置面之间。

7.根据权利要求1或2所述的基板保持装置，其中

所述按压机构利用多个所述按压构件对所述基板的表面的不同范围进行按压。

8.根据权利要求7所述的基板保持装置，还包括：

获取部，针对所述基板的表面的不同部分获取指标值，所述指标值表示和载置于所述载置面的所述基板的表面与所述载置面的间隔相应的值，

所述控制部基于所述指标值来决定使各所述按压构件执行暂时按压动作的顺序，且使各所述按压构件按所述顺序执行所述暂时按压动作，所述暂时按压动作使所述按压构件朝向所述载置面上的所述基板移动而使其位于所述暂时按压位置。

9.根据权利要求8所述的基板保持装置，其中

所述控制部确定出已获取所述指标值的所述基板的表面的各部分中所述指标值成为最大的特定部分，并决定对多个所述按压构件中包含对最靠近所述特定部分的范围进行按压的按压构件在内的一部分按压构件，比与所述一部分按压构件不同的其他按压构件还早地执行所述暂时按压动作。